這款射頻等離子體發(fā)生器是進(jìn)口射頻等離子體放大器,提供13.56MHz,120W的射頻等離子體發(fā)射,非常適合工業(yè),科研和醫(yī)學(xué)應(yīng)用。可提供射頻等離子發(fā)射功率有300W, 600W,1000W,1200W, 2400W.
射頻等離子體發(fā)生器規(guī)格參數(shù)
可與任何調(diào)諧器配合使用，但T&C的AIT-600調(diào)諧器系列（如左圖所示）的操作是優(yōu)化的
通過以下方式*控制發(fā)電機(jī)和AIT-600調(diào)諧器
前面板或PC（GUI軟件）
接口：模擬/數(shù)字、RS-232、RS-422
數(shù)字顯示：正向/反射/負(fù)載功率，
內(nèi)部溫度、調(diào)諧器蓋位置
數(shù)據(jù)采集：功率測(cè)量和狀態(tài)
模擬接口監(jiān)控
操作：AGC功率均衡，低諧波
電平、脈沖操作、斜坡曲線
5.25英寸高x 8.75英寸寬x 15.00英寸長(zhǎng)
射頻等離子體發(fā)生器訂購(gòu)信息
訂購(gòu)代碼：AG 0113 (前部面板控制)
                0113 (帶空白前面板的等離子體發(fā)生器模塊）
                AG 0113 & AIT-600 Tuner (萬全的 RF 系統(tǒng))
                [Rear panel] RF Input / Blanking ports OR CEX In / Out ports
射頻等離子體發(fā)生器規(guī)格參數(shù)
操作等級(jí)：C級(jí)
工作頻率：13.56MHz
頻率穩(wěn)定性：0.005%或更好
RF功率輸出：120W @50歐姆負(fù)載
EXT RF輸入驅(qū)動(dòng)：0-3 dBm 良好操作
輸入驅(qū)動(dòng)源用于外部RF輸入：?jiǎn)蝹€(gè)或函數(shù)發(fā)生器,2Vp-p @50歐姆@模擬計(jì)算機(jī)輸入
CEX輸入：3Vp-p ~8Vp-p  @13.56MHz
CEX輸出：3Vp-p ~8Vp-p  @13.56MHz
內(nèi)部RF源： 晶體震蕩器@13.56MHz
輸入輸出阻抗：50Ohm
IN/OUT VSWR: 1.2: :1 max-input,   3:1 max-output
輸出VDWER保護(hù)：50W最大反射功率保護(hù)極限（0.1ms 自動(dòng)限制）
諧波水平@100W：>=-50dBc
RF輸出穩(wěn)定性： 10:1 VSWR
動(dòng)態(tài)功率范圍：1-120W
脈沖工作：脈寬1ms~9995ms