v 光源:375 nm、385 nm、405 nm 激光器
v 線寬:0.5μm、0.6μm、1.0μm、1.5μm
v 光刻效率:3000mm2/min@5μm
v XY行程:55~205mm
v 樣品尺寸:最小3mm*3mm 8 inch
v 應(yīng)用領(lǐng)域:生物芯片、功率芯片光刻、掩膜版制造、3D衍射光學(xué)元件、芯片封裝、光通訊芯片光刻
研啟科學(xué)儀器(東莞)有限公司
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