2024-11-02
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測(cè)量半透明片材、
低反射膜、硅等的厚度，這在光學(xué)干涉測(cè)量法中是困難的2
微型光纖探頭
由于使用了 30 毫米的小型反射探頭，
它可以安裝在設(shè)備或生產(chǎn)線的狹小空間內(nèi)。
此外，由于探頭僅通過(guò)
光纖連接到主機(jī)，因此具有出色的耐環(huán)境性。3
高速測(cè)量：
在
100 個(gè)點(diǎn)或更高處同時(shí)采樣 950~1650 nm 的近紅外波長(zhǎng)可實(shí)現(xiàn)短至 1 毫秒的高速采樣。
可以在生產(chǎn)線上進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)和測(cè)量。
由于干涉濾光片不旋轉(zhuǎn)，因此具有出色的耐用性和可靠性。4
厚度測(cè)量重復(fù)性：0.1% 或更低 （3σ）
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兩種可選的測(cè)量算法
測(cè)量算法 校準(zhǔn)樣品 測(cè)量目標(biāo) Beer-Lambert 法 1 種 僅厚度 最小二乘回歸 2 種或更多類(lèi)型 倍數(shù)（厚度、密度、特定成分的混合量等）
測(cè)量示例（鋰離子電池隔膜）
可以同時(shí)測(cè)量厚度和涂層重量。
測(cè)量示例（硅襯底上黑色光刻膠的膜厚）
可以測(cè)量硅襯底上黑色光刻膠的薄膜厚度，而使用反射光譜法使用光學(xué)干涉涂層測(cè)厚儀很難做到這一點(diǎn)
。
配置
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