曝光機(jī)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 鑫有研電子科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2016/4/12 20:45:23
- 訪問(wèn)次數(shù) 585
產(chǎn)品標(biāo)簽
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URE-2000系列光刻機(jī)
型號(hào):17
一. 技術(shù)特征
1、采用多反射鏡實(shí)現(xiàn)均勻照明;
2、采用球氣浮找平,調(diào)平精度高;
3、高倍率雙目雙視場(chǎng)顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時(shí)觀察對(duì)準(zhǔn)過(guò)程,
2、采用球氣浮找平,調(diào)平精度高;
3、高倍率雙目雙視場(chǎng)顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時(shí)觀察對(duì)準(zhǔn)過(guò)程,
并提供USB輸出;既滿足高精度對(duì)準(zhǔn),又可用于檢測(cè)曝光結(jié)果,且曝光
結(jié)果和方便存儲(chǔ);
4、曝光波長(zhǎng)采用純凈365nm,冷光照明(曝光面能量5mW/cm ,溫度小于35度)
5、手動(dòng)上下版、樣片,手動(dòng)調(diào)平;手動(dòng)分離間隙。
6、快門可以單獨(dú)開(kāi)啟,也可以數(shù)字設(shè)定自動(dòng)倒計(jì)時(shí)曝光(設(shè)定范圍0.1s-9999s)
7、采用200W進(jìn)口(德國(guó))直流汞燈,可調(diào)節(jié)光的能量密度;設(shè)備外形美觀精制
4、曝光波長(zhǎng)采用純凈365nm,冷光照明(曝光面能量5mW/cm ,溫度小于35度)
5、手動(dòng)上下版、樣片,手動(dòng)調(diào)平;手動(dòng)分離間隙。
6、快門可以單獨(dú)開(kāi)啟,也可以數(shù)字設(shè)定自動(dòng)倒計(jì)時(shí)曝光(設(shè)定范圍0.1s-9999s)
7、采用200W進(jìn)口(德國(guó))直流汞燈,可調(diào)節(jié)光的能量密度;設(shè)備外形美觀精制
性能非??煽?/span>
二、主要技術(shù)指標(biāo):
1、曝光面積:ф100mm;
2、分辨力: 1.7µm(膠厚2 µm的正膠);
3、對(duì)準(zhǔn)精度: ±1µm;
4、掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍:X:6mm;Y:6mm;
5、掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch;
6、樣片尺寸:直徑ф15mm-- ф100mm、
厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm);
7、照明均勻性:±6%(ф100mm 范圍);
8、掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°;
9、汞燈功率:200W(直流);
10、曝光波長(zhǎng):365nml
11、曝光能量密度:6mW/cm (420nm以上波長(zhǎng)小于0.2mW/cm )l
12、曝光方式:定時(shí)(到計(jì)時(shí)方式)
13、外形尺寸:650mm(長(zhǎng))´600mm(寬)´900mm(高)
1、曝光面積:ф100mm;
2、分辨力: 1.7µm(膠厚2 µm的正膠);
3、對(duì)準(zhǔn)精度: ±1µm;
4、掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍:X:6mm;Y:6mm;
5、掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch;
6、樣片尺寸:直徑ф15mm-- ф100mm、
厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm);
7、照明均勻性:±6%(ф100mm 范圍);
8、掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°;
9、汞燈功率:200W(直流);
10、曝光波長(zhǎng):365nml
11、曝光能量密度:6mW/cm (420nm以上波長(zhǎng)小于0.2mW/cm )l
12、曝光方式:定時(shí)(到計(jì)時(shí)方式)
13、外形尺寸:650mm(長(zhǎng))´600mm(寬)´900mm(高)