日本日立SFT-110型X射線熒光鍍層厚度測量儀

日立（SEA1000AⅡ、EA1200VX、EA1300VX、EA6000VX，膜厚儀SFT-110、SFT9300、SFT9355、SFT9455、SFT9500X、SFT9550X）SFT-110系列產(chǎn)品,搭載了高性能X射線管，實現(xiàn)了高精度的測定。SFT-110極微小準直管和可變焦距光學(xué)系統(tǒng)的組合，實現(xiàn)了對極微小部分的測定。對有段差的樣品也適用。

1．SFT-110搭載了50W高性能X射線管。
2．SFT-110搭載標準的Φ50μm微小準直管（zui小Φ15μm）。
3．容易對微小領(lǐng)域進行觀察。SFT-110搭載了能4階段切換的可變焦距光學(xué)系統(tǒng)。
4．依據(jù)照明能很容易對以前觀察困難的樣品進行觀察。
5．SFT-110搭載了防止有凹凸的樣品碰撞的傳感器。
6．搭載了焦點切換功能，F(xiàn)T-110能夠?qū)τ懈叨鹊臉悠返牡筒糠诌M行測定。
7．SFT-110利用伺服馬達精確的驅(qū)動平臺。
7．SFT-110運用激光聚焦功能簡單實現(xiàn)位置的調(diào)整。