HPR-80 活潑性/腐蝕性氣體分析儀
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 英格海德分析技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 HPR-80
- 產(chǎn)地 英國Hiden公司
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2023/11/22 8:52:54
- 訪問次數(shù) 3035
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在線質(zhì)譜儀，殘余氣體分析儀，重量法吸附儀，高壓吸附儀，蒸汽吸附儀，導(dǎo)熱系數(shù)分析儀，質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)飛行質(zhì)譜儀，電化學(xué)質(zhì)譜儀
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
HPR-80活潑性/腐蝕性氣體分析儀應(yīng)用：
• 等離子體/反應(yīng)性離子蝕刻研究
• CVD / PVD / MOCVD
• 半導(dǎo)體晶片加工研究
• 真空、等離子體過程
• 活性物質(zhì)定量分析
• HF，HCl，HBr，CFC 研究
HPR-80活潑性/腐蝕性氣體分析儀特點：
• 加熱的電拋光波紋管，快速偶合連結(jié)器
• 可清除的，帶粘性流QIC校正的進樣口用于定量分析
• 高靈敏度至 5 ppb, 質(zhì)量數(shù)為 2500 amu.
• 進樣壓力從 1 mtorr 至大氣壓
• 電容壓力計，壓力檢測可不受分析物影響
• 穩(wěn)定性好 (24h之上，小于峰高±0.5% )
• 軟件 MASsoft 控制
• 矩陣反演，歸一化及單峰參考
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