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KLOCKE 納米級(jí)三維測(cè)量?jī)x
- 公司名稱 北京匯德信科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào) KLOCKE
- 產(chǎn)地 德國(guó)
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2016/9/28 9:17:04
- 訪問(wèn)次數(shù) 677
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分子束外延系統(tǒng),脈沖激光沉積系統(tǒng),電子束光刻/聚焦離子束系統(tǒng),紫外光刻機(jī),去膠機(jī),寬頻介電阻抗譜儀,三維表面形貌儀,納米壓印模板,光刻膠等
KLOCKE納米級(jí)三維測(cè)量?jī)x |
KLOCKE納米級(jí)三維測(cè)量?jī)x介紹 |
德國(guó)Klocke公司的Nanofinger是一種兼具原子量級(jí)分辨率和厘米級(jí)線性行程的納米定位與測(cè)量系統(tǒng),系統(tǒng)測(cè)量范圍大,且具有*的空間三維精度??稍?0mm x 50mm x20mm的空間范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)分辨率1nm的三維坐標(biāo)測(cè)量,跨越8個(gè)數(shù)量級(jí)。
該設(shè)備的除涵蓋一般輪廓、形貌測(cè)量設(shè)備的功能外,zui突出的特點(diǎn)是可以進(jìn)行三維高精度坐標(biāo)測(cè)量,這是其他設(shè)備無(wú)法做到的。與普通的三坐標(biāo)測(cè)量相比,該設(shè)備的測(cè)量精度、分辨率要高出幾個(gè)數(shù)量級(jí)。
整個(gè)3D Nanofinger系統(tǒng)由臺(tái)架、控制系統(tǒng)、探頭、針尖組成。
系統(tǒng)控制單元控制探針沿樣品表面移動(dòng),以測(cè)量形貌、粗糙度、尺寸。操作者可根據(jù)需要設(shè)定參數(shù),如探頭移動(dòng)的步長(zhǎng),選擇、制定自己的測(cè)試模式,以使測(cè)量長(zhǎng)度、速度、路徑、分辨率達(dá)到*化。
系統(tǒng)的數(shù)據(jù)處理能力非常強(qiáng),可得到多種參數(shù),包括形貌、粗糙度、坐標(biāo)尺寸等。同時(shí),系統(tǒng)有自動(dòng)控制能力,可以和超精密微加工、微組裝系統(tǒng)組合,例如為微加工系統(tǒng)提供在線檢測(cè),以隨時(shí)控制加工質(zhì)量。
應(yīng)用于MEMS微機(jī)械、半導(dǎo)體微電子、光學(xué)、分子生物學(xué)和精密工程,提供大范圍、納米精度的定位、操縱、處理和測(cè)量。還可用于微小零件、*、模具的精密測(cè)量。
KLOCKE主要特點(diǎn)
1.納米精度測(cè)量,而且是三維方向都可保持統(tǒng)一的精度。 |