F50薄膜厚度測量儀

自動化薄膜厚度繪圖系統(tǒng)

依靠F50的光譜測量系統(tǒng)，可以很簡單快速地獲得直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標(biāo)移動平臺，可以非?？焖俚亩ㄎ凰铚y試的點(diǎn)并測試厚度，測試非?？焖?，大約每秒能測試兩點(diǎn)。用戶可以自己繪制需要的點(diǎn)位地圖。F50系統(tǒng)配置高精度使用壽命長的移動平臺，確保能夠做成千上萬次測量。

系統(tǒng)中預(yù)設(shè)了許多極坐標(biāo)形、方形和線性的圖形模式，也可以編 輯自己需要的測試點(diǎn)。只需掌握基本電腦技術(shù)便可在幾分鐘內(nèi)建立自己需要的圖形模式。

可測樣品膜層

基本上所有光滑的。非金屬的薄膜都可以測量。可測樣品包括：

選擇Filmetrics的優(yōu)勢

• 桌面式薄膜厚度測量

• 24小時電話，郵件和在線支持

• 所有系統(tǒng)皆使用直觀的標(biāo)準(zhǔn)分析軟件

附加特性

• 嵌入式在線診斷方式

• 免費(fèi)離線分析軟件

• 精細(xì)的歷史數(shù)據(jù)功能，幫助用戶有效存儲，重現(xiàn)與繪制測試結(jié)果