基于PID處理控制器的Eurotherm可以存儲20套程序,每套程序可以支持高達(dá)100個步驟的設(shè)定,帶USB2.0的接口。
包含UniSoft 軟件,與微軟Windows操作系統(tǒng)兼容。通過該軟件,通過鏈接電腦可以非常方便地實(shí)現(xiàn)程序編輯以及數(shù)據(jù)記錄。
Semco的退火爐主要包含如下三款型號:
1)JetLight
基片從前面載入/取出;
腔體尺寸:直徑50mm×深度150mm;
zui高溫度高達(dá)1100攝氏度;
升溫速率為150K/sec;
降溫速率分段控制:從1100℃到400℃,降溫速率優(yōu)于200K/sec。
從400℃到100℃zui大降溫速率控制在30K/sec;
2)JetFirst
基片從前面載入/取出;
zui大可支持的尺寸:直徑200mm基片;
zui高溫度高達(dá)1000攝氏度;
升溫速率為75K/sec;
降溫速率分段控制:從1000℃到400℃,降溫速率優(yōu)于200K/sec。從400℃到100℃zui大降溫速率控制在30K/sec;
3)JetStar
也可以用于污染物處理;
基片從上面載入/取出;
zui大可支持的尺寸:直徑為300mm的Wafer或者300mm×300mm的基片;
zui高溫度高達(dá)1000攝氏度;
升溫速率為40K/sec;
降溫速率分段控制:從1000℃到400℃,降溫速率優(yōu)于200K/sec。從400℃到100℃zui大降溫速率控制在30K/sec;