產(chǎn)品介紹：
         BeamScanXYPREC光束分析儀適用于測量極小光束—— 類似幾微米直徑大小的光束的儀器。
        在如此狹小的范圍內(nèi)，控制測量平面位置精度的能力就變得十分重要了。因為光束衍射極限的景深只是一個概略的數(shù)字 。舉例來說，光束直徑的平方6um光束，得到的景深只有36um 。因此，如果不能精確控制測量平面，就不可能準確的測量到光腰，就會導致測量失誤。Photon對zui合適的路徑進行了綜合測試，用來提高測量平面位置的精度。同時為了達到zui大的精確度，儀器的誤差已經(jīng)被減少到了zui小。測試的zui終結(jié)果是：探頭的測量平面可以被控制到zui小（3.8um或7um）。然后儀器又經(jīng)過了坐標測量儀（CMM）的測試檢驗 。其中CMM的精度為2.5um。因此，可測平面數(shù)據(jù)為±5μm或者可選為±3μm
        通過對許多材料的試驗， 我們發(fā)現(xiàn)由于不銹鋼有非常可靠的機械穩(wěn)定性，是進行加工的材料。因此，我們對BeamScan進行了*次改進，每個BeamScan高精度探頭的成分中都加入了經(jīng)過精密加工的ASTM303不銹鋼 。不銹鋼掃描頭的出現(xiàn)優(yōu)化了生產(chǎn)過程，縮短了生產(chǎn)上產(chǎn)生的誤差。
光波范圍:
         XYPREC：400nm - 1000nm
         XYGEPREC：700nm - 1800nm
可測光束尺寸:
         4μm-[aperture]
         Depending on slit size and power