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          瑞士VAT閥67.0 對(duì)稱控制閥

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          德國(guó)STEIMEL施*泵,德國(guó)HIRSCHMAN赫斯曼,德國(guó)HYDAC賀德克,

          德國(guó)IFM易福門,德國(guó)TURCK圖爾克,德國(guó)MURR穆?tīng)?,德?guó)HAWE哈威,

          美國(guó)紐曼帝克,美國(guó)AB,美國(guó)FAIRCHILD仙童,美國(guó)DENISON丹尼遜,

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          德國(guó)GSR閥,法國(guó)CROUZET高諾斯,德國(guó)PILZ皮爾茲繼電器,

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          美國(guó)MAC電磁閥,美國(guó)PARKER派克,美國(guó)MOOG穆格伺服閥,

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          德國(guó)MAHLE馬勒,德國(guó)海隆HERION,英國(guó)諾冠NORGREN,

          美國(guó)UE壓力開(kāi)關(guān),美國(guó)MTS位移傳感器,

          以及法國(guó)高諾斯繼電器,日本CKD,日本豐興,日本不二越,

          日本大金,日本SUNX,日本黑田精工,日本東京美.日本SMC。

          公司具有豐富的氣動(dòng)工控液壓產(chǎn)品銷售經(jīng)驗(yàn),多年來(lái)與世界各國(guó)的較有名廠商相繼建立了良好的合作關(guān)系,所銷產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于國(guó)內(nèi)各工業(yè)領(lǐng)域,公司依仗品牌的優(yōu)勢(shì),以靈活的經(jīng)營(yíng)方式,多渠道,*地為客戶提供先進(jìn)的自動(dòng)化產(chǎn)品。

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          GSR電磁閥,派克閥,力士樂(lè)閥,進(jìn)口

          3C閥門類別 工業(yè) 流動(dòng)方向 單向
          應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子,汽車,電氣,綜合

          瑞士VAT閥67.0 對(duì)稱控制閥

          最大限度地提高質(zhì)量和生產(chǎn)率67.0 系列專為半導(dǎo)體生產(chǎn)中的腐蝕性蝕刻和清潔工藝而設(shè)計(jì),可用作下游控制和隔離閥。

          工藝室內(nèi)的氣流特性直接影響工藝速度和質(zhì)量。盡管傳統(tǒng)上,工藝設(shè)計(jì)最注重氣體流入,但下游氣流同樣有助于工藝優(yōu)化。

          通常,晶圓周圍的氣流越均勻,晶圓上的氣體反應(yīng)就越平穩(wěn)、越同步。

          這不僅適用于氣體引入階段,還適用于氣體從艙室排出階段。出口位置設(shè)計(jì)或閥門操作期間的流動(dòng)路徑變化可能造成氣體分布不對(duì)稱,阻礙氣體排出或產(chǎn)生不均勻的流速。兩者都可能以不同的氣體暴露時(shí)間和不平衡對(duì)流的形式對(duì)晶圓造成負(fù)面影響。此外,兩者都可能導(dǎo)致工藝耗氣量增加、流程時(shí)間延長(zhǎng)。

          解決方案是對(duì)整個(gè)流程周期的氣流設(shè)計(jì)進(jìn)行優(yōu)化。67.0對(duì)稱控制閥為這種方法奠定了新基礎(chǔ)。

          采用流量?jī)?yōu)化設(shè)計(jì),還能以全新方式設(shè)計(jì)工藝室。借助其特殊的打開(kāi)和關(guān)閉機(jī)構(gòu),氣流在整個(gè)開(kāi)關(guān)周期中對(duì)稱分布,實(shí)現(xiàn)的流量和壓力控制?!败浗佑|”隔離功能強(qiáng)化了這一點(diǎn)。67.0 對(duì)稱控制閥移動(dòng)平緩,可避免任何關(guān)閉沖擊,從而減少粒子生成量。

          67.0 對(duì)稱控制閥的另一優(yōu)勢(shì)是占用空間小。相較于其他解決方案,所需的安裝空間更少。

          67.0 對(duì)稱控制閥與氣流優(yōu)化的頂噴和艙室設(shè)計(jì)相結(jié)合,實(shí)現(xiàn)了的全新過(guò)程控制水平。這有助于提高產(chǎn)量質(zhì)量和縮短循環(huán)周期,從而提高生產(chǎn)率。67.0 對(duì)稱控制閥可提供 DN 為 250-450 mm (10"–18") 的尺寸。閥體材料為鋁或硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁。泵側(cè)的標(biāo)準(zhǔn)法蘭為 ISO-F 或 JIS。艙室法蘭采用專有設(shè)計(jì)。法蘭、閥板和驅(qū)動(dòng)器采用彈性體密封。饋通件采用波紋管密封。閥板加熱器為選件。67.0 對(duì)稱控制閥由兩個(gè)帶有閉環(huán)控制步進(jìn)電機(jī)的同步線性驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)。現(xiàn)代 32 位控制器可借助個(gè)人計(jì)算機(jī)或 PCU 通過(guò)各種標(biāo) 準(zhǔn)端口進(jìn)行連接。專用的控制性能分析儀 (CPA) 軟件能夠詳細(xì)監(jiān)測(cè) 67.0 對(duì)稱控制閥并調(diào)整周期性運(yùn)動(dòng)。67.0 對(duì)稱控制閥計(jì)劃在維護(hù)前,進(jìn)行200 萬(wàn)次控制周期和 20 萬(wàn)次隔離周期??煽焖佥p松地完成更換密封件等維護(hù)要求瑞士VAT閥67.0 對(duì)稱控制閥

          67.0 對(duì)稱控制閥主要特點(diǎn)

          特點(diǎn)

          壓力控制和隔離氣流優(yōu)化設(shè)計(jì)閥加熱器選項(xiàng)波紋管饋通件

          優(yōu)勢(shì):在整個(gè)開(kāi)關(guān)周期對(duì)稱流動(dòng)無(wú)沖擊操作,避免粒子生成出色的壓力控制性能易于維護(hù)

          瑞士VAT閥67.0 對(duì)稱控制閥



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