歐洲進口 精密拋光機

歐洲進口 精密拋光機

精密拋光機介紹：

1. GNAD61 精密研磨拋光機，主機及所有的零備件均采用高防腐蝕材料，整機防腐，適用于硅等多種半導(dǎo)體材料的化學(xué)機械研磨拋光。設(shè)備可加工樣品尺寸范圍為４英寸以下樣片。

2. GNAD61 設(shè)備設(shè)有一個工作站，可加工一片４英寸的樣品及若干小于 4英寸的不同形狀及尺寸的樣片。設(shè)備夾具具有１００％范圍擺動的功能。這一功能設(shè)計，可以保證設(shè)備在研磨拋光過程中，實現(xiàn)樣品的全擺動拋光，大大提升了設(shè)備的拋光產(chǎn)能及效率，同時也避免了拋光時間過長造成的樣片塌邊現(xiàn)象。

3. GNAD61 設(shè)備主機配有真空系統(tǒng)和自動填料系統(tǒng)等相關(guān)組件。真空系統(tǒng)，包括真空泵，過濾系統(tǒng)及相關(guān)連接組件。真空系統(tǒng)通過抽真空的方式將樣品直接吸附在樣品固定裝置底面。根據(jù)不同工藝要求，真空系統(tǒng)可以直接吸附樣品或者直接吸附貼有樣品的玻璃基板。GNAD61 設(shè)備隨主機標(biāo)配的玻璃基板采用高質(zhì)量浮法玻璃，經(jīng)過精密的研磨工藝使基本實現(xiàn)高平整度，ＴＴＶ≤２ｕｍ．真空系統(tǒng)搭載的過濾裝置，可以有效的過濾磨拋過程中產(chǎn)生的廢料液，以避免廢液被吸入真空泵造成故障。

Gnad 61 優(yōu)勢

精密拋光設(shè)備通過超細拋光液對半導(dǎo)體材料進行拋光，實現(xiàn)平整度，粗糙度等高指標(biāo)技術(shù)要求。

設(shè)備所有的功能，由控制面板按鍵來控制，每一控制參數(shù)，均有獨立的按鍵控制，便于售后的維修服務(wù)，可以控制成本。

研磨拋光盤運行由主驅(qū)動部分控制，盤的轉(zhuǎn)速變化可從每分鐘0轉(zhuǎn)到每分鐘100轉(zhuǎn)，從而保證了不同工藝要求的參數(shù)。

控制面板上定時控制，能夠設(shè)定連續(xù)運轉(zhuǎn)多至10個小時，給操作者以zui大的自由操控性。

在設(shè)備的側(cè)面，設(shè)計有除液口，用于廢液的導(dǎo)出，使得整個工藝過程變得簡單快潔。