產(chǎn)品特點(diǎn) ：

冷陰極反磁控真空傳感器
傳感器組件容易拆卸和清洗
連接B-RAX或FlexRax控制器

技術(shù)參數(shù) ：

測(cè)量范圍從10^-8 至10^-2 Torr。
精度- N2 (typical)    ± 30%讀數(shù)
重復(fù)性 - (typical)      ± 5% 讀數(shù)
接液材質(zhì)：316不銹鋼，陶瓷，氟橡膠O型圈
靈敏度：廠家預(yù)設(shè)10^-2 Torr，用戶也可2-99調(diào)節(jié)
超壓保護(hù)：廠家默認(rèn)10^-2 Torr關(guān)閉
溫度：操作溫度0-40℃，存儲(chǔ)溫度：-40到70℃
烘烤溫度：150℃（僅表，電子元件移除），帶磁鐵不可超過5小時(shí)
安裝方式：任意
模擬輸出：B - RAX或FlexRax控制器輸出
設(shè)定點(diǎn)繼電器：B - RAX或FlexRax控制器設(shè)置
顯示狀態(tài)：操作B - RAX或FlexRax控制器用戶界面選項(xiàng)控制CCM500陽極開/關(guān)狀態(tài)
輸入控制信號(hào)：B - RAX或FlexRax控制器控制
電源：通過 B - RAX或FlexRax控制器供電
RF/EMI認(rèn)證：CE

產(chǎn)品選型 ：

CCM500 備件/接口                                                     型號(hào)                 傳感器備件
1 in. Tube (1 in. O.D. O-ring compression)    CCM500TX                CC5T
NW16KF                                                               CCM500BX                CC5B
NW25KF                                                               CCM500CX                CC5C
NW40KF                                                               CCM500DX                CC5D
2 3/4 in. CF / NW35CF Conflat®                       CCM500FX                CC5F
 

選項(xiàng)及配件 ：

電源：PS501-A

應(yīng)用及案例 ：

真空泵
灌晶設(shè)備
真空鍍膜
大學(xué)科研
真空實(shí)驗(yàn)
化學(xué)/物理氣象沉積
分析儀器
生物制藥