美國產Plasma Cleaning System
PE100粉體等離子處理設備
美國PE公司成立于1980年,致力于提供電子行業(yè)用的等離子設備及相關服務。通過幾十年的發(fā)展,公司發(fā)展成為提供等離子設備方面的專家,可為客戶提供專業(yè)的產品和解決方案,先后眾多企業(yè)提供等離子處理設備:美國宇航局NASA, 美國波音Boeing,*的電子保安系統(tǒng)產品制造商美國霍尼韋爾Honeywell,美國摩托羅拉Moto, 德國拜耳Bayer,世界軍用飛機的企業(yè)美國洛克希德馬丁Lockheed-Martin等等。
PE擁有多項發(fā)明,在開發(fā)和制造等離子設備方面有許多突破性創(chuàng)新,公司擁有等離子體技術和制造技術領域里zui*的技術。這些技術的產品線是公司*的,生產的等離子設備是業(yè)界*的集清洗速度、完整均勻性、安全可靠性為一體的等離子處理設備。
設備特點:
1. 體積小,配備小型真空泵,無需占用很大空間,可以放置在任何實驗臺上。
2. *的粉體收集裝置,可以處理500~1000ML粉體
3. 配置靈活,PE-100擁有靈活多變的參數(shù)配置組合,能夠勝任使用者的不同需求。除了配置不同的頻率(100~460KHz,13.56MHz),不同的頻率段,還提供不同的功率以供用戶選擇。在控制系統(tǒng)上,也配置了面板控制和更精準的全數(shù)字電腦控制,以滿足用戶的使用要求。
4. 操作簡便,設備的安裝非常簡單,工廠提供詳盡的說明和相應的管道等配件。面板的操作部分,在設計中做到盡可能簡單和避免誤操作。一般操作人員在極短的時間內就可以熟練操作,甚至只需要幾分鐘就可掌握。
5. 安全保障:在小型設備中,*引入一鍵急停保護按鈕,當參數(shù)設置有誤而設備已經(jīng)啟動的時候,可以快速終止實驗,以zui小程度降低因操作失誤而造成對樣品的損害。
PE-100主要參數(shù):
外部尺寸 | 432mm* 711mm*762mm 重量:73Kg |
真空腔材質 | 耐用的焊接6061 T6鋁合金真空腔 |
真空腔尺寸 | 約305mm寬*356mm深*305mm高 |
電極尺寸 | 多向自動耦合匹配電極,粉體收集裝置 |
等離子發(fā)生器 | 300W,100 KHz 連續(xù)可調,可選13.56MHz |
供氣 | 質量流量控制器: O-50cc (連續(xù)可調) |
壓力測量 | Pirini真空計:0-1Torr |
控制器 | 基于WINDOWS操作系統(tǒng)的控制系統(tǒng) |
安全保障 | 一鍵急停按鈕 |
電源 | 220VAC,14A
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可選配置
等離子發(fā)生器功率和頻率:300W,13.56 MHz
過程溫度控制;
自定義電極配置;
RIE(反應離子電極)配置;
靜電屏蔽