化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>光學(xué)儀器及設(shè)備>光學(xué)測(cè)量?jī)x>其它光學(xué)測(cè)量?jī)x> 光滑表面缺陷自動(dòng)化檢測(cè)系統(tǒng)
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
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圖1 光滑表面缺陷的自動(dòng)化檢測(cè)系統(tǒng)外型圖（配百級(jí)超凈工作臺(tái)）
光滑表面缺陷的自動(dòng)化檢測(cè)系統(tǒng)是利用光學(xué)顯微散射暗場(chǎng)成像技術(shù)與*的基于數(shù)學(xué)形態(tài)學(xué)的數(shù)字圖像處理算法結(jié)合研制的新穎非接觸的檢測(cè)設(shè)備。系統(tǒng)具有環(huán)形分布的光源可以采集任意方向疵病的CCD圖像；利用光學(xué)顯微散射暗場(chǎng)成像可以達(dá)到對(duì)被測(cè)缺陷實(shí)現(xiàn)微米量級(jí)的分辨率；精密的二維掃描系統(tǒng)與數(shù)字圖像處理算法結(jié)合可以實(shí)現(xiàn)對(duì)大口徑表面缺陷完成子孔徑掃描和拼接；采用二元光學(xué)的標(biāo)準(zhǔn)板定標(biāo)程序及可以實(shí)現(xiàn)對(duì)缺陷如劃痕幾何尺寸的定量檢測(cè)并精確確定光滑表面上每個(gè)缺陷的幾何參數(shù)的方位，終自動(dòng)輸出缺陷檢測(cè)報(bào)告。該系統(tǒng)是浙江大學(xué)光電系現(xiàn)代光學(xué)儀器重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室楊甬英等教授集多年基礎(chǔ)、數(shù)年攻關(guān)完成的目前*臺(tái)可以對(duì)各種光滑的光學(xué)元件和金屬表面的各種劃痕、麻點(diǎn)、碎邊等疵病實(shí)現(xiàn)高分辨率、快速、數(shù)字化定量檢測(cè)的*的高科技設(shè)備，可有效解決人為的目視觀察評(píng)估由于主觀因素介入導(dǎo)致檢測(cè)的準(zhǔn)確度低，效率低的難題。系統(tǒng)可以應(yīng)用于高精度的光學(xué)元件、激光器諧振腔、微光元件、光滑的金屬及硅片表面、手機(jī)外殼、微縮文字等各類表面缺陷的檢測(cè)和文字校驗(yàn)。
儀器技術(shù)指標(biāo)：
1. 被檢缺陷樣品的檢測(cè)口徑：50mm×50mm～100mm×100mm，更大口徑可由用戶提出研制；
2. 缺陷檢測(cè)分辨率：小可達(dá)微米量級(jí)；
3. 檢測(cè)的缺陷幾何特征：各種劃痕、麻點(diǎn)、破邊等、文字缺損校驗(yàn)；
4. 照明及成像系統(tǒng)：環(huán)形均勻光源照明系統(tǒng)、0.7×～4.5×變倍顯微鏡成像系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)顯微散射暗場(chǎng)成像；
5. 檢測(cè)方法：計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制二維移導(dǎo)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)光滑表面的子孔徑掃描；
6. 標(biāo)準(zhǔn)評(píng)價(jià)：利用二元光學(xué)制作標(biāo)準(zhǔn)比對(duì)板定量評(píng)估；
7. 儀器檢測(cè)精度：幾何長(zhǎng)度相對(duì)誤差優(yōu)于2%、劃痕寬度誤差控制在微米量級(jí)；
8. 數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)：科學(xué)級(jí)CCD相機(jī)，空間分辨率約1K×1K左右或更高。
9. 自動(dòng)化評(píng)估軟件要求：
- 全口徑子孔徑掃描控制、圖像匹配拼接、圖像數(shù)據(jù)處理軟件；
- 二元光學(xué)制作標(biāo)準(zhǔn)比對(duì)板數(shù)據(jù)庫及評(píng)估系統(tǒng)；
- 全口徑表面缺陷分布及類型的數(shù)據(jù)輸出；
- 微縮文字缺損校驗(yàn)評(píng)估；
- 軟件具有友好的人機(jī)交互圖形工作界面，工作于Windows2000以上平臺(tái)。
應(yīng)用范圍：
本系統(tǒng)可應(yīng)用于高科技的光學(xué)、材料、微電子等國民經(jīng)濟(jì)諸多領(lǐng)域：
1. 系統(tǒng)可以應(yīng)用于高精度的光學(xué)元件、激光器諧振腔、微光元件等光滑的光學(xué)元件表面的任意方向缺陷如各種劃痕、麻點(diǎn)、碎邊進(jìn)行非接觸的數(shù)字化定量檢測(cè)，并實(shí)時(shí)輸出檢測(cè)報(bào)告。
2. 系統(tǒng)可以對(duì)光滑的金屬及硅片表面的疵病進(jìn)行非接觸的數(shù)字化定量檢測(cè)，并實(shí)時(shí)輸出檢測(cè)報(bào)告。
3. 系統(tǒng)可以對(duì)光滑的手機(jī)外殼、高精度的液晶屏進(jìn)行表面的劃痕、麻點(diǎn)實(shí)現(xiàn)數(shù)字化定量檢測(cè)。
4. 對(duì)各種精密的具有微縮文字的光滑表面實(shí)現(xiàn)文字的缺損檢測(cè)。
圖2是對(duì)一光滑的光學(xué)元件表面缺陷進(jìn)行圖像預(yù)處理后的軟件界面。
圖3是自動(dòng)化顯示該元件表面缺陷位置及對(duì)缺陷信息編號(hào)的界面。
圖4 是自動(dòng)化輸出缺陷（劃痕）信息報(bào)告的界面。
圖2 光滑表面缺陷圖像預(yù)處理后的軟件界面
圖3 自動(dòng)化顯示缺陷位置及對(duì)缺陷信息編號(hào)的界面
圖4 自動(dòng)化輸出缺陷（劃痕）信息報(bào)告
部分訂制清單：
| 1 | 4K高速線陣相機(jī) | Zer-OSC-01 | Resolution 4K；4 Lines 疊加或獨(dú)立成像； 敏感波長(zhǎng)范圍介于500nm至650nm之間； 支持大掃描頻率200kHz；單色， 單相元大小10.56μm。 |
| 2 | 高分辨率高速相機(jī) | Zer-OSC-21 | 像素：500萬（2500x2000）， 探測(cè)面積：6X4.5mm， 波長(zhǎng)范圍：500-1100nm， 大采集速度：60幀/S，USB3.0傳輸。 |
| 3 | 成像鏡頭 | Zer-OSM-01 | 同軸高分辨成像鏡頭，500萬分辨率， 工作距100mm； |
| 4 | 二維精密導(dǎo)軌 | Zer-100x100 | 行程：100x100mm，重復(fù)定位精度：1um， 分辨率：0.5um，大速度：20mm/s |
| 5 | 六維電控調(diào)節(jié)臺(tái) | Zer-6-003 | 調(diào)節(jié)維度：XYZ平移，XYZ旋轉(zhuǎn)， 平移行程：10mm， 重復(fù)定位精度：300nm，分辨率：50nm， 大速度：5mm/s，旋轉(zhuǎn)角度范圍+/-2°， 重復(fù)定位精度：0.01°，分辨率：0.005°。 |
| 6 | 高亮照明光源 | Zer-OSL-01 | 高均勻性同軸光源，同軸偏差小于2°， 出光尺寸40X40，大照度優(yōu)于50WLX |
| 7 | 照明用漫射板 | Zer-DF-64 | 透射度30%、50%、70%可定 |
| 8 | 大功率數(shù)字控制器 | Zer-OSLD-01 | 256級(jí)亮度控制；支持RS232通信； 支持手動(dòng)調(diào)節(jié)及掉電保護(hù)； 支持頻率介于10KHZ高頻控制。 |
| 9 | 面陣用高亮照明光源 | Zer-OSL-02 | 高均勻性同軸光源，同軸偏差小于2°， 出光尺寸60X60；大照度優(yōu)于50WLX |
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