3D掃描電鏡
- 公司名稱 深圳市美信檢測技術(shù)股份有限公司-J
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 其他
- 更新時間 2019/3/18 11:56:44
- 訪問次數(shù) 487
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價格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 鎢燈絲 |
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3D掃描電鏡具有由三極電子槍發(fā)出的電子束經(jīng)柵極靜電聚焦后成為直徑為50mm的電光源。在2-30KV的加速電壓下,經(jīng)過2-3個電磁透鏡所組成的電子光學系統(tǒng),電子束會聚成孔徑角較小,束斑為5-10 nm的電子束,并在試樣表面聚焦。 末級透鏡上邊裝有掃描線圈,在它的作用下,電子束在試樣表面掃描。高能電子束與樣品物質(zhì)相互作用產(chǎn)生二次電子,背反射電子,X射線等信號。這些信號分別被不同的接收器接收,經(jīng)放大后用來調(diào)制熒光屏的亮度。3D掃描電鏡由于經(jīng)過掃描線圈上的電流與顯像管相應(yīng)偏轉(zhuǎn)線圈上的電流同步,因此,試樣表面任意點發(fā)射的信號與顯像管熒光屏上相應(yīng)的亮點一一對應(yīng)。也就是說,電子束打到試樣上一點時,在熒光屏上就有一亮點與之對應(yīng),其亮度與激發(fā)后的電子能量成正比。換言之,掃描電鏡是采用逐點成像的圖像分解法進行的。光點成像的順序是從左上方開始到右下方,直到後一行右下方的像元掃描完畢就算完成一幀圖像。這種掃描方式叫做光柵掃描。