MSA-100-3D顯微式測振儀可在大帶寬范圍內實時測量樣本的動態(tài)特性，高分辨率同時記錄和分析XYZ三個方向的振動分量，每向的振幅分辨率均達到亞皮米級。 

因激光光斑極小，所以橫向分辨率*，且?guī)捀哌_25 MHz，是用于微機電傳感器（MEMS）以及其他微結構振動測量的理想設備。通過軟件移動樣品，完成樣品整個表面的振動分析，然后以圖形方式顯示振型。

MSA-100-3D顯微式測振儀專為具有高橫向分辨率的3D振動分析而設計。它特別適用于微系統(tǒng)，精密機械零件以及數(shù)據(jù)存儲行業(yè)中HGA和次級執(zhí)行器動力學的研究。 

該儀器基于一種新穎的3D振動計設置，可實現(xiàn)平面外和平面內運動的pm分辨率。它的頻率帶寬為25 MHz。集成的XY橫向平臺具有完整的軟件支持，可實現(xiàn)高精度樣品移動，從而實現(xiàn)掃描測量，以獲得3D偏轉形狀。 

可選的集成XY定位臺與精密軟件一起使探頭易于操作。

•高達25 MHz的高帶寬實時測量
•平面外和平面內運動的亞pm位移分辨率
•單點和全場掃描測量
•高點小光斑<4μm橫向分辨率
•38 mm的大間隔距離
•探針臺兼容