HPG400高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計(jì)將高壓強(qiáng)熱電離與皮拉尼規(guī)管綜合在一個(gè)小型、輕便與經(jīng)濟(jì)的規(guī)管中，測(cè)量壓強(qiáng)從2×10-6至1000毫巴(1.5×10-6至750乇)。HPG400提供高度的重復(fù)性和再現(xiàn)性壓強(qiáng)測(cè)量，用于精確的濺射過(guò)程的壓強(qiáng)控制。

HPG400高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計(jì)

用戶*性 
◆  HPG400節(jié)省成本和設(shè)備空間，降低真空測(cè)量的安裝與設(shè)置的復(fù)雜性
◆  高壓強(qiáng)熱電離真空計(jì)1×10-5毫巴為要求高的過(guò)車工控制提供精確、可靠的壓強(qiáng)測(cè)量
◆  用戶可選的熱電離發(fā)射在5×10-2至1毫巴之間起始工作
◆  皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)熱陰極防止它過(guò)早燒毀
◆  高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)整，減少操作人員的干預(yù)
◆  備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場(chǎng)總線接口

典型應(yīng)用   
◆  半導(dǎo)體制作中濺射工藝應(yīng)用，電子學(xué)的媒體工業(yè)
◆  工業(yè)鍍膜
◆  在低至超高真空范圍中系統(tǒng)的一般真空測(cè)量和控制