產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,石油,能源,建材 |
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日本YAMATO等離子清洗機PR200
■ 操作性·功能
● 射頻 13.56Mhz 0-200W 高功率機型,發(fā)生器自動匹配,無需調(diào)節(jié)反射波, 進一步增加的操作的便捷性。
● 標準配備數(shù)字式皮拉尼傳感器,實時顯示真空度,使得控制更為精確。
● 高硼硅玻璃腔體非常適合于實驗室處理比較純凈的精元、硅片等樣品,無需擔憂因為腔體材質(zhì)的原因?qū)е聵悠肥艿轿廴尽?nbsp;
■ 安全性·保護
● 裝載有溫度、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報警燈,可實時監(jiān)測和了解 機器的運轉(zhuǎn)狀態(tài)。
● 裝載有過電流漏電保護開關(guān)、自診斷回路、異常時蜂鳴器報警等安全功能。
日本YAMATO等離子清洗機PR200
■ 產(chǎn)品優(yōu)勢
●等離子清洗機清洗效果好,清洗效率高,功率大,應用范圍廣。
●對清洗樣品,沒有任何材質(zhì)、外觀尺寸等要求。
●等離子清洗過程中,溫升很小,基本可達到常溫處理。
●高效的特制電極,是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。
●特制電極和托盤結(jié)構(gòu),可保證樣品可得到全面有效的清洗。
●安全保護措施綿密,有效防止對機器以及樣品的損害。
規(guī)格:
型號 | PR200 | PR301 | |
方式 | DP模式、圓柱形腔體 | ||
性能 | 發(fā)生器功率: | 0-200W | 0-300W |
發(fā)生器頻率: | 射頻RF13.56Mhz | ||
發(fā)生器匹配方式: | 自動匹配(Auto matching) | 手動匹配(manul) | |
構(gòu)成 | 腔體材質(zhì): | 高硼硅玻璃 | |
腔體內(nèi)尺寸: | φ100×L160mm | φ118×L160mm | |
反應氣體: | 一路工藝氣體,可支持氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體。 | ||
控制方式: | 半自動控制 | ||
真空度顯示: | 數(shù)字式皮拉尼傳感器,實時顯示腔體內(nèi)真空度。 | 模擬式壓力表 | |
配管材質(zhì): | SUS不銹鋼以及特氟龍 | ||
門: | 鉸鏈門 | ||
外形尺寸: | W350×D400×H500mm | W438×D520×H630mm | |
真空泵抽速: | 4m3/hour | ||
電源規(guī)格: | AC220V 10A | ||
重量: | 約25kg | 約34kg | |
附屬品 | 真空管件一套、真空轉(zhuǎn)接接頭一套、試料托盤一枚。 |