主要特點：

1.      體積小、操作簡單、性能強（4nm@20kV）、擴展功能豐富

2.      擁有多個探測器（SE、BSE）

3.      擁有低真空功能，不導電和含水樣品直接觀察

4.      標配五軸樣品臺（三軸馬達）

5.      可選可變壓力探測器UVD，實現(xiàn)高真空光信號（如CL）觀察

6.      可選SEM-MAP光鏡導航功能

7.      報告導出功能

應(yīng)用領(lǐng)域：

材料科學

生命醫(yī)學

食品衛(wèi)生

半導體電子元器件

汽車制造

1 安裝條件

1.1 電源電壓 220V（±10%），50Hz

1.2 獨立地線接地電阻＞40 歐姆

1.3 實驗室溫度 15~30℃，濕度≤70%。

1.4 高分辨電鏡主機設(shè)計。

2 技術(shù)要求

2.1 分辨率 SE 探頭：4.0nm 20kv; 15.0nm 1kv

BSE 探頭：5.0nm 20kv

2.2 加速電壓：0.3k~ 20kV 連續(xù)可調(diào)

2.3 放大倍數(shù)： 6 - 300,000倍

2.4 真空系統(tǒng)

2.4.1 具有低真空功能，高低真空切換，不需要安裝壓差光闌

2.4.2 低真空：低真空（壓力范圍）：6Pa—100Pa

2.4.3 真空泵泵系統(tǒng) 渦輪分子泵和機械泵各 1 臺

2.5 電子光學系統(tǒng)

2.5.1 電子探頭：具有 4 級自動偏壓功能

2.5.2 聚光鏡光闌*安裝在長內(nèi)襯管內(nèi)，用戶可自行更換聚光鏡光闌。

2.5.3 燈絲飽和自動調(diào)節(jié)，具有高中低三個檔位

2.5.4 燈絲：預對中燈絲

2.5.5 物鏡光闌：4 孔可動式物鏡光闌

2.6 樣品室和樣品臺

2.6.1 樣品臺尺寸：裝載直徑≥150mm 樣品

2.6.2 樣品臺：5 軸樣品臺，3 軸馬達驅(qū)動

2.6.3 行程：X=40mm ；Y=50mm ; Z=5-15mm；R=3600；T=-15～+900

2.7 探測器及成像系統(tǒng)

2.7.1 二次電子探測器：二次電子像

高靈敏 5 分割背散射電子探測器：成分像、形貌像和三維像

2.7.2 成像模式：同時得到二次電子像，背散射電子像，兩種圖像混合像

2.7.3 圖像捕捉模式：快慢掃描捕捉、積分捕捉

2.7.4 存儲圖像像素不小于 5120 X 3840

2.7.5 電鏡操作控制系統(tǒng)：鼠標、鍵盤、旋鈕盒

2.7.6自動功能：自動燈絲飽和度調(diào)整，具有高、中、低三個檔位，自動電子束對中

2.7.7電子圖像位移：＞±50μm（WD=10mm）

2.7.8計算機操作系統(tǒng)：Windows 10 Pro 64位，INTEL 四核處理器，4G內(nèi)存，500G硬盤，DVD

刻錄光驅(qū)。

2.7.9配有圖像管理軟件

2.7.10 電鏡操作控制系統(tǒng)：鼠標、鍵盤

2.8 美國 IXRF 能譜儀能譜儀

2.8.1 探測器元件面積：10mm2