Zeta-388 光學(xué)輪廓儀
- 公司名稱 北京億誠(chéng)恒達(dá)科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2021/3/19 17:14:54
- 訪問(wèn)次數(shù) 519
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 食品,化工,地礦,能源 |
Zeta-388 光學(xué)輪廓儀
Zeta-388的配置靈活并易于使用，并集合了六種不同的光學(xué)量測(cè)技術(shù)。ZDot™測(cè)量模式可同時(shí)收集高分辨率3D掃描和True Color無(wú)限遠(yuǎn)焦距圖像。其他3D測(cè)量技術(shù)包括白光干涉測(cè)量、Nomarski干涉對(duì)比顯微鏡和剪切干涉測(cè)量。ZDot或集成寬帶反射計(jì)都可以對(duì)薄膜厚度進(jìn)行測(cè)量。Zeta-388也是一款顯微鏡，可用于樣品檢查或自動(dòng)缺陷檢測(cè)。Zeta-388通過(guò)提供全面的臺(tái)階高度、粗糙度和薄膜厚度的測(cè)量以及缺陷檢測(cè)功能，以及晶圓盒到晶圓盒的晶圓傳送，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。
主要功能
· 采用ZDot和Multi-Mode（多模式）光學(xué)器件的簡(jiǎn)單易用的光學(xué)輪廓儀，具有廣泛的應(yīng)用
· 可用于樣品復(fù)檢或缺陷檢測(cè)的高質(zhì)量顯微鏡
· ZDot：同時(shí)采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color（真彩）無(wú)限遠(yuǎn)焦點(diǎn)圖像
· ZXI：白光干涉測(cè)量技術(shù)，適用于z向分辨率高的廣域測(cè)量
· ZIC：干涉對(duì)比度，適用于亞納米級(jí)別粗糙度的表面并提供其3D定量數(shù)據(jù)
· ZSI：剪切干涉測(cè)量技術(shù)提供z向高分辨率圖像
· ZFT：使用集成寬帶反射計(jì)測(cè)量膜厚度和反射率
· AOI：自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)，并對(duì)樣品上的缺陷進(jìn)行量化
· 生產(chǎn)能力：通過(guò)測(cè)序和圖案識(shí)別實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量
· 晶圓傳送機(jī)械臂: 自動(dòng)加載直徑為50mm至200mm的不透明（如硅）和透明（如藍(lán)寶石）樣品
Zeta-388 光學(xué)輪廓儀
主要應(yīng)用
· 臺(tái)階高度：納米到毫米級(jí)別的3D臺(tái)階高度
· 紋理：平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波紋度
· 外形：3D翹曲和形狀
· 應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力
· 薄膜厚度：30nm到100μm透明薄膜厚度
· 缺陷檢測(cè)：捕獲大于1μm的缺陷
· 缺陷復(fù)檢：采用KLARF文件作為導(dǎo)航以測(cè)量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置
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