等離子清洗機(jī)介質(zhì)阻擋（DBD）放電研究歷史

1 利用介質(zhì)阻擋（DBD）放電產(chǎn)生臭氧和氮氧化物

1857年，Siemens利用同軸的圓筒電極結(jié)構(gòu)的DBD放電產(chǎn)生臭氧；1860年，Andrews將此放電命名為無聲放電(silent discharge)。從1860年到1900年的40年間，各界對(duì)DBD本身的研究較少，只是通過這種放電來產(chǎn)生臭氧和氮氧化物(NO)。

2 對(duì)介質(zhì)阻擋（DBD）放電特性的研究

20世紀(jì)初，Warburg開始了對(duì)DBD本身放電特性的研究。1932年，Buss利用平行平板電極結(jié)構(gòu)研究了大氣壓空氣DBD放電特性，同時(shí)拍攝了長曝光時(shí)間的放電圖像，即所謂的 Liehtenburg圖，并用示波器記載了放電的電流波形。結(jié)果表明，放電是由大量發(fā)光細(xì)絲(即流注)組成，與此相對(duì)應(yīng)，電流波形是由大量的窄脈沖組成。

1943年，Manley在DBD電流回路中串聯(lián)一個(gè)電容器以收集放電電荷Q，將對(duì)應(yīng)于Q的電壓信號(hào)送到示波器的Y輸入；同時(shí)將外加電壓送到示波器X輸入。在每一個(gè)外加電壓周期T，示波器上得到一個(gè)封閉的四邊形圖形，即李薩如(Lissajous)圖形。他還提出可以利用李薩如圖形所包圍的面積S計(jì)算放電能量W或功率P。

3 通過實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)大氣壓下輝光放電

1987年，日本的Kanazawa利用含氦氣的混合氣體進(jìn)行大氣壓下DBD實(shí)驗(yàn)，并用肉眼觀察到了均勻放電現(xiàn)象。從此以后，人們認(rèn)識(shí)到，除了細(xì)絲放電模式外，大氣壓下DBD還存在均勻放電模式，并且將此均勻放電統(tǒng)稱為大氣壓下輝光放電，即APGD，大氣壓DBD的研究進(jìn)入新的篇章。

等離子清洗機(jī)介質(zhì)阻擋（DBD）放電研究歷史

大氣等離子清洗機(jī) DBD存在兩種放電模式，即細(xì)絲模式和均勻模式，但常見的還是細(xì)絲模式，這是由大氣壓下氣體放電特性所決定的。為了避免大氣壓氣體放電形成電弧，人們?cè)跉庀吨幸肓私^緣介質(zhì)，構(gòu)成DBD，目前介質(zhì)阻擋（DBD）放電仍是學(xué)術(shù)研究的一個(gè)重要項(xiàng)目。