設備尺寸：6900(W)×1150(H) ×1650(D) mm

設備總重：≈2500Kg
處理寬幅：520mm（Max）
安裝卷徑：300mm（Max）
電力需求：380V、3 相、5 線
額定功率：30KVA
等離子電源：20KVA、40KHz
氣體輸入：4路工藝氣體 + 1路壓縮空氣
工藝氣體控制：電磁閥 + MFC控制，0-1000SCCM
工藝氣體供給：0.2-0.8MPa，＞5L/Min
工藝氣體純度：O2=99.99%；  Ar2=99.99%；

N2=99.99%；  CF4=99.999%；

壓縮氣體控制：電磁閥
壓縮氣體需求：除水除油除塵，0.4-0.8MPa
處理速度：0-5m/min（視使用情況而定）

設備組成

機架部分收放卷部分

采用氣漲軸承載、收放物料；
采用變頻器帶動電機控制走料速度；
采用磁流體密封隔絕真空；
采用張力傳感器探測張力大??；
采用磁粉離合器控制張力強度；
采用糾偏傳感器檢測物料位置及偏移量；
采用收卷糾偏一體式系統(tǒng)控制物料整齊度；
收放卷倉分別配置接料平臺用于物料接駁；
放卷配置自動撕膜功能；
收卷配置自動覆膜功能。

等離子部分

20KVA，40KHz大功率等離子體電源；
中通冰水等離子體電極。

自動控制部分

歐姆龍PLC控制；
MCGS工業(yè)觸摸屏操作。

氣體控制部分

采用SNS調(diào)壓閥調(diào)節(jié)氣體壓力；
采用CKD電磁閥控制氣體通斷；
采用Seven Star質(zhì)量流量控制器控制氣體流量。

真空控制部分

采用Han Bell螺桿泵+羅茨泵真空泵組；
采用MKS真空計探測真空度；
采用GD高真空擋板閥控制真空管道通斷。

溫度控制部分

采用冰水機控制真空腔室溫度；
采用模溫機控制真空腔室溫度。