CVD,MOCVD專用氫氣發(fā)生器
- 公司名稱 英國(guó)普拉勒科技有限公司-普拉勒(南京)儀器科技有限公司
- 品牌 PECULIAR/普拉勒
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/11/12 11:23:21
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,綜合 |
CVD(Chemical Vapor Deposition)和MOCVD(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition)是兩種常用的化學(xué)氣相沉積技術(shù),用于制備薄膜、涂層和納米材料等。
CVD是一種通過(guò)在反應(yīng)室內(nèi)將反應(yīng)物質(zhì)以氣體形式傳輸并在襯底表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而在襯底上形成所需材料的方法。該過(guò)程涉及到化學(xué)反應(yīng)、氣體輸運(yùn)和表面擴(kuò)散等多個(gè)步驟。在CVD過(guò)程中,通過(guò)控制反應(yīng)氣體的組成、流速、溫度和壓力等參數(shù),可以實(shí)現(xiàn)對(duì)所生長(zhǎng)材料的成分、結(jié)構(gòu)和性能的精確控制。
而MOCVD是一種特殊的CVD技術(shù),主要用于生長(zhǎng)復(fù)雜化合物薄膜,如半導(dǎo)體材料、光電材料等。MOCVD利用金屬有機(jī)前驅(qū)物(通常是金屬有機(jī)化合物)和載氣(如氫氣、氮?dú)猓┰诟邷貤l件下反應(yīng),使金屬有機(jī)前驅(qū)物分解并釋放金屬原子,然后這些金屬原子與載氣中的其他氣體反應(yīng),最終在襯底表面形成所需薄膜。
CVD,MOCVD專用氫氣發(fā)生器由超純水機(jī)制取二級(jí)水,并儲(chǔ)存至水箱備用。氫氣發(fā)生器缺水時(shí),自動(dòng)供給至氫氣發(fā)生器。多臺(tái)氫氣發(fā)生器可串聯(lián)使用,通過(guò)串聯(lián)控制線由一臺(tái)發(fā)生器控制其他發(fā)生器,實(shí)現(xiàn)產(chǎn)氣均勻分配。(以兩臺(tái)設(shè)備為例控制圖如下)