SPN150i 德國SPS-EUROPE 勻膠機(jī)
- 公司名稱 華儀行（北京）科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) SPN150i
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/10/25 15:04:10
- 訪問次數(shù) 2203
勻膠機(jī)Spin Coater德國SPS-EUROPE 勻膠機(jī)勻膜機(jī)旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)
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半導(dǎo)體領(lǐng)域儀器設(shè)備：等離子清洗機(jī)、紫外臭氧清洗機(jī)、勻膠機(jī)、烤膠機(jī)等。 理化實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備：酸蒸逆流清洗器、真空趕酸系統(tǒng)、酸純化器、智能消解儀、恒溫電熱板等
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 10萬-30萬 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,食品,化工,石油 |
德國SPS-EUROPE 勻膠機(jī)
產(chǎn)品概述
德國SPS-EUROPE勻膠機(jī)具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定，啟動(dòng)快速，涂膠一致性和均勻性好等特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆。
工作原理
德國SPS-EUROPE 勻膠機(jī)的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，勻膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
*特征
- 可編程全尺寸彩色觸摸屏控制器，可拆卸，耐化學(xué)試劑腐蝕。速度、加速和時(shí)間可編程；無*程序存儲(chǔ)空間，可存儲(chǔ)旋涂多步驟工作協(xié)議，具有協(xié)議密保功能。
- 可編程轉(zhuǎn)速范圍: 1rpm-12,000rpm，轉(zhuǎn)速參數(shù)設(shè)置范圍廣，高精確性旋轉(zhuǎn)速度 (± 0.1 rpm)。
- 數(shù)字電機(jī)控制，帶增速數(shù)字顯示信號(hào)反饋，以避免轉(zhuǎn)速過量，從而提升涂膜的品質(zhì)。
- 防靜電PET透明襯套，杜絕工作倉室的交叉污染。
- 一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),殼體采用α-聚丙烯(NPP-H)材質(zhì)，傳動(dòng)系統(tǒng)采用工程塑料材質(zhì)，壽命長耐腐蝕。
- 采用經(jīng)過熱處理透明玻璃蓋。玻璃蓋帶彈簧可自動(dòng)將蓋子固定在理想位置，玻璃蓋上帶注射器固定架和氮?dú)鈹U(kuò)散器，注射器固定架以固定的位移距離和位置注入抗蝕劑/化學(xué)試劑，氮?dú)鈹U(kuò)散器在旋涂過程可注入到工作艙氮?dú)?氬氣，工作艙環(huán)境可控。
- 安全互鎖裝置：工作艙蓋鎖止，艙蓋打開旋轉(zhuǎn)自動(dòng)停止，真空不足或沒有真空旋轉(zhuǎn)自動(dòng)停止，過載保護(hù)。
- USB端口：可上傳和下載旋涂協(xié)議和軟件。
- 三個(gè)外接控制端口，可用于接入注入單元自動(dòng)控制，氮?dú)鈹U(kuò)散器控制等。
- 產(chǎn)品通過CE認(rèn)證。
技術(shù)參數(shù)
| 型號(hào) | SPN150i | SPN200i |
| 控制方式 | 全彩觸摸屏控制界面 | 全彩觸摸屏控制界面 |
| 結(jié)構(gòu)材質(zhì) | 聚丙烯(NPP-H)材質(zhì) | 聚丙烯(NPP-H)材質(zhì) |
| 旋轉(zhuǎn)速度 | 1-12000rpm ±1rpm steps | 1-12000rpm ±1rpm steps |
| 旋轉(zhuǎn)精度 | ±0.1rpm | ±0.1rpm |
| 旋轉(zhuǎn)方向 | 順時(shí)針，逆時(shí)針，交換擺動(dòng) | 順時(shí)針，逆時(shí)針，交換擺動(dòng) |
| 加速/減速 | 1-30,000rpm/秒 (每步可選) | 1-30,000rpm/秒 (每步可選) |
| 旋轉(zhuǎn)時(shí)間 | 0.1-99999秒/步 | 0.1-99999秒/步 |
| 基片范圍 | 160mm 或6"直徑或4"x4"方片 | 260mm 或6"直徑或6"x6"方片 |
| 腔體直徑 | 202mm | 302mm |
| 外接控制端口 | 3個(gè) | 3個(gè) |
| 真空開關(guān) | 有 | 有 |
| 外形尺寸 | 27.5x45.0x25.0cm(WxDxH) | 380x559x307cm(WxDxH) |
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