HR系列 ulvacHR系列愛發(fā)科真空泵維修檢漏儀維修
- 公司名稱 蘇州希文控制科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 HR系列
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2020/3/17 9:16:17
- 訪問次數(shù) 523
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| 價格區(qū)間 | 80萬-100萬 | 儀器種類 | 氦質(zhì)譜檢漏儀（進口） |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),地礦,交通,電氣 |
干式真空泵
LR / HR / UR系列
ulvacHR系列愛發(fā)科真空泵維修檢漏儀維修
干式真空泵LR / HR / UR系列通過使用我們*的高溫浸泡技術(shù)有效地利用壓縮熱，從而在CVD和蝕刻等堅硬工藝中實現(xiàn)了高耐久性。在輕型過程中，與ECO-SHOCK結(jié)合使用，可以將功耗降低約80％。所有型號均兼容CE（可選），以提高可維護性并降低噪音。有關(guān)ECO-SHOCK的更多信息，請參閱“相關(guān)信息”。
特色功能
- LR系列：
除在低溫范圍內(nèi)浸泡惰性氣體外，還適用于需要縮短排氣時間（特別是為了提高產(chǎn)量）的充放電室中的排氣。 - HR系列/ UR系列：高溫下
通過CVD 浸泡，蝕刻等產(chǎn)生的可升華排氣物質(zhì)可以氣態(tài)排放 - 1000毫秒內(nèi)瞬間停電的對策
- CE兼容（可選）
使用方法
- 活性氣體（CVD，干法蝕刻等）
- 惰性氣體排放（濺射，沉積，熱處理等）
- 減少裝卸室的排氣時間（LR系列）
- 產(chǎn)生粉末的過程中的排氣（拉單晶硅等）
- 作為輔助排氣泵（渦輪分子泵的輔助排氣，機械增壓泵）
規(guī)格書
| 類型名稱 | LR / HR 60 | LR / HR 90 | LR 180 | LR 421 | LR 421-T | UR 421-T | LR / HR 300 | LR / HR 600 | UR 600 | LR / HR 1200 | UR 1200 | ||
| 二手泵 | DRP | LR / HR 60 | LR / HR 90 | LR 180 | LR 421 | LR 421-T | UR 421-T | LR / HR 60 | LR / HR 90 | UR 90 | LR / HR 90 | UR 90 | |
| MBP | － | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | |||||||||
| 大抽速 | m 3 /小時 | 50赫茲 | 62 | 112 | 183 | 440 | 440 | 410 | 359 | 653 | 653 | 1012 | 1012 |
| 60赫茲 | 80 | 126 | 237 | 365 | 701 | 1051 | |||||||
| 升/分鐘 | 50赫茲 | 1030 | 1860年 | 3100 | 7333 | 7333 | 6833 | 5980 | 10900 | 10883 | 16900 | 16867 | |
| 60赫茲 | 1333 | 2100 | 3950 | 6080 | 11700 | 17500 | |||||||
| 極限壓力 | 帕 | 5.0 | 0.67 | ||||||||||
| 大排氣壓力（吸氣壓力） | 大氣壓* | ||||||||||||
| 大出口壓力（排出壓力） | 1Pa至大氣壓 | ||||||||||||
| 入口（CE規(guī)格） | VG50 （KF40） | VG80（KF50） | VG100 | VG80（KF80） | VG100（KF100） | ||||||||
| 排氣口 | KF40 | VG50 | KF40 | ||||||||||
| 干泵表面處理 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ||
| 機械增壓泵表面處理 | -- | -- | -- | -- | -- | -- | ○* | ○* | ○ | ○* | ○ | ||
| 彌撒 | 公斤 | 180 | 245 | 335 | 415 | 251 | 371 | 403 | |||||
| 電力 | 三相 | 交流電 （Hz） | 200（50/60），220（60） | 180-240 / 380-440（50/60） | 200（50/60），220（60） | ||||||||
| 現(xiàn)值 | 常規(guī)的 | 一 | 6.9 / 7.1 | 11.2 | 18.9 | 20.8 | 23 | 7.0 / 7.8 | 12.3 / 12.9 | 16.4 | 13.7 / 15.4 | 18.9 | |
| 大值 | 一 | 7.0 / 7.3 | 11.8 | 20.6 | 48.5 | 52.5 | 9.6 / 8.1 | 19.0 / 13.8 | 17.3 | 24.2 / 18.9 | 22.4 | ||
| 冷卻水一次壓力 | 兆帕 | 0.1至0.3 | 0.2至0.5 | 0.1至0.3 | |||||||||
| 冷卻水入口/出口壓差 | 兆帕 | > 0.1 | > 0.2 | > 0.1 | |||||||||
| 冷卻水流量 | 升/分鐘 | > 5.0 | > 4.0 | > 5.0 | > 5.0 | ||||||||
| 吹掃氣體 | 一次壓力 | 兆帕 | 0.1-0.5 | ||||||||||
| 二次壓力 | 兆帕 | 0.05-0.1 | |||||||||||
| N 2吹掃 | 軸數(shù) | SLM | 5 | ||||||||||
| 加斯伯勒 | SLM | 0-45 | 無* 1 | 0-45 | 0-195 | 0-45 | |||||||
*訂購時請注明工作電壓。
*請勿在吸入壓力為200Pa或更高的壓力下連續(xù)操作HR300，HR / UR600和HR / UR1200。泵溫度可能會異常，并且互鎖裝置可能會運行。
*對于LR300，LR600，LR1200，UR600，UR1200，UR1800，UR3601-TT的MBP，可以選擇是否進行表面處理。
* JIS法蘭是進氣口的標(biāo)準(zhǔn)配置。符合CE的NW類型。
* 1可以根據(jù)應(yīng)用估算可以使用氣體玫瑰的規(guī)格。
| 類型名稱 | LR1800 | UR1800 | LR3601 | LR3601-TT | LR3601-R | LR3601-TR（TTR） | UR3601-TT | |||
| 二手泵 | DRP | LR180 | UR180 | LR421 | LR421-T | LR421 | LR421-T | UR421-T | ||
| MBP | PRC-018A | PRC-036C | PRC-036C（-T） | PRC-036D | PRC-036D（DT） | PRC-036C-T | ||||
| 大抽速 | m 3 /小時 | 50赫茲 | 1701 | 1701 | 3200 | 2700 | ||||
| 60赫茲 | 1784年 | |||||||||
| 升/分鐘 | 50赫茲 | 28350 | 28350 | 53333 | 45000 | |||||
| 60赫茲 | 29700 | |||||||||
| 極限壓力 | 帕 | 0.67 | ||||||||
| 大排氣壓力（吸氣壓力） | 大氣壓* | |||||||||
| 大出口壓力（排出壓力） | 1Pa至大氣壓 | |||||||||
| 進口* | VG150（KF100） | VG150 | ||||||||
| 排氣口 | KF40 | KF50 | ||||||||
| 干泵表面處理 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | |||
| 機械增壓泵表面處理 | ○* | ○ | × | T：×TT：○ | × | TR：×TTR：○ | ○ | |||
| 彌撒 | 公斤 | 553 | 660 | 720 | 660 | 720 | 720 | |||
| 電力 | 三相 | 交流電（Hz） | 200（50/60），220（60） | 180-240 / 380-440（50/60） | ||||||
| 現(xiàn)值 | 常規(guī)的 | 一 | 21.4 | 29.2 | 31 | 35.4 | 39.8 | |||
| 大值 | 一 | 39.8 | 34.9 | 58.4 | 82 | 68.3 | ||||
| 冷卻水一次壓力 | 兆帕 | 0.1至0.3 | 0.2至0.5 | |||||||
| 冷卻水入口/出口壓差 | 兆帕 | > 0.1 | > 0.2 | |||||||
| 冷卻水流量 | 升/分鐘 | > 5.0 | > 4.0 | > 5.0 | ||||||
| 吹掃氣體 | 一次壓力 | 兆帕 | 0.1-0.5 | |||||||
| 二次壓力 | 兆帕 | 0.05-0.1 | ||||||||
| N 2吹掃 | 軸數(shù) | SLM | 5 | |||||||
| 加斯伯勒 | SLM | 0-45 | 0-195 | 無* 1 | 0-45 | 無* 1 | 0-45 | 0-195 | ||
*訂購時請注明工作電壓。
*請勿在吸入壓力為200Pa或更高的壓力下連續(xù)操作HR300，HR / UR600和HR / UR1200。泵溫度可能會異常，并且互鎖裝置可能會運行。
*對于LR300，LR600，LR1200，UR600，UR1200，UR1800，UR3601-TT的MBP，可以選擇是否進行表面處理。
* JIS法蘭是進氣口的標(biāo)準(zhǔn)配置。符合CE的NW類型。
* 1可以根據(jù)應(yīng)用估算可以使用氣體玫瑰的規(guī)格。
■消音器（可選）
| 型號 | 材質(zhì) | 表面處理 | 重量（公斤） | 連接法蘭 |
| RS-01 | SUS304 | GBB處理 | 4.1 | NW40 |
| RS-02 | SUS304 | GBB處理 | 8.3 | NW40 |
| RS-03 | SUS304 | 拋光板 | 12.5 | NW50 |
■型號兼容性表
| 套件名稱 | 適用機型 | 夾鉗 | 外圈 | 連接管道 | 留下來 |
| RS-01套件A | LR60，LR90，LR300 | 1個 | 1個 | -- | -- |
| RS-01套件B | LR600，LR1200 | 兩個 | 兩個 | 1個 | 1個 |
| RS-02套件A | LR180（LR60，LR90，LR300） | 兩個 | 兩個 | 1個 | 1個 |
| RS-02套件B | LR1800（LR600，LR1200） | 兩個 | 兩個 | 1個 | 1個 |
| RS-03套件A | LR421（-T） | 1個 | 1個 | 1個 | 1個 |
| RS-03套件B | LR3601（-T / TT / R / TR / TTR） | 三 | 三 | 1個 | 1個 |
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