FE-3 嵌入式膜厚檢測儀
- 公司名稱 大塚電子(蘇州)有限公司
- 品牌 OTSUKA/日本大冢
- 型號 FE-3
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2020/6/12 16:14:31
- 訪問次數(shù) 889
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zeta電位?粒徑?分子量測量系統(tǒng),晶圓在線測厚系統(tǒng),線掃描膜厚儀,顯微分光膜厚儀,線掃描膜厚儀,分光干涉式晶圓膜厚儀,相位差膜?光學(xué)材料檢測設(shè)備,非接觸光學(xué)膜厚儀,小角激光散射儀,多檢體納米粒徑量測系統(tǒng),量子效率測量系統(tǒng)
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價格區(qū)間 | 20萬-50萬 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子,印刷包裝,電氣 |
嵌入式膜厚檢測儀 FE-3
嵌入式膜厚檢測儀可高精度測量具有波長依存性的多層膜!
產(chǎn)品信息
特 點
•采用分光干涉法
•搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)
•使用光學(xué)光纖,可靈活構(gòu)筑測量系統(tǒng)
•可嵌入至各種制造設(shè)備。
•實時測量膜厚
•可對應(yīng)遠(yuǎn)程操作、多點測量
•采用壽命長、安全性高的白色LED光源
測量項目
·多層膜厚解析
用 途
•光學(xué)薄膜(超硬涂層、AR薄膜、ITO等)
•FPD相關(guān)(光刻膠、SOI、SiO2等)
設(shè)備構(gòu)成
單點型
•半導(dǎo)體晶圓的面內(nèi)分布測量
•玻璃基板的面內(nèi)分布測量
多點型
•實時測量
•流向品質(zhì)管理
•真空室適用
導(dǎo)線型
•實時測量
•寬度方向品質(zhì)管理
測量案例
超硬涂層的膜厚解析