干燥儲液器氦檢漏系統(tǒng)氣密性檢測設(shè)備

1.系統(tǒng)介紹

1.1 基本技術(shù)指標(biāo)

1.2 真空箱集成密封管路及接頭

（1） 箱內(nèi)帶6條抽空充氣管路（含3套接頭）

（2） 每條管路單獨(dú)控制

2.基本工作原理

根據(jù)氦檢漏的基本檢漏原理，用氦氣作為示蹤氣體，在真空箱內(nèi)將氦氣充入工件，然后通過氦檢漏儀能高精度迅速準(zhǔn)確的判斷工件的泄漏情況。

3.工作過程描述

干燥儲液器氦檢漏系統(tǒng)氣密性檢測設(shè)備有2個(gè)真空箱，2個(gè)真空箱聯(lián)動，操作員將零件置入真空箱中并用快速接頭進(jìn)行連接，隨后同時(shí)按下位于真空箱上沿的兩個(gè)綠色圓形關(guān)箱按鈕，箱門自動關(guān)閉，檢測循環(huán)開始。在真空箱門兩側(cè)裝有光柵保護(hù)器，關(guān)閉箱門時(shí)，確保合門區(qū)域內(nèi)沒有干涉箱門運(yùn)動的物件。

一旦其中一個(gè)箱門關(guān)閉，此箱的檢測循環(huán)隨即開始。 此時(shí)操作員可以轉(zhuǎn)到另一箱進(jìn)行操作。

檢測過程：

（1）大漏檢測：真空箱門關(guān)閉后，系統(tǒng)先后對真空箱進(jìn)行粗抽、精抽，直至箱內(nèi)真空度達(dá)到設(shè)定的檢漏壓力，在對真空箱開始抽真空的同時(shí)，系統(tǒng)給箱內(nèi)的工件充入4MPa（向下可調(diào)）的高壓氣體，再進(jìn)行保壓，等待系統(tǒng)的壓力傳感器確認(rèn)是否有大漏。如果工件有大漏，系統(tǒng)把工件內(nèi)的高壓氣體排放掉，同時(shí)關(guān)閉真空箱的抽氣閥，終止檢漏程序，并給真空箱充入大氣，操作者按下確認(rèn)按鈕，真空箱門自動打開，取出工件，標(biāo)識后放入待處理區(qū)。若系統(tǒng)沒有發(fā)現(xiàn)工件大漏，自動進(jìn)行下一步檢漏程序。

（2）對工件抽真空：若沒有發(fā)現(xiàn)工件大漏，系統(tǒng)將工件內(nèi)的高壓氣體放掉，并對工件內(nèi)部抽真空，當(dāng)工件內(nèi)的真空度達(dá)到設(shè)定的壓力值后，等待真空箱的抽空過程完成。

（3）真空氦檢：當(dāng)真空箱的抽空達(dá)到設(shè)定的檢漏壓力，而同時(shí)箱內(nèi)工件的抽空已經(jīng)完成，系統(tǒng)檢出檢測箱內(nèi)的氦氣信號，并對這個(gè)信號抑零，然后給工件充入3.6MPa的氦氣，當(dāng)工件內(nèi)的氦氣壓力達(dá)到設(shè)定值后，檢漏儀對工件進(jìn)行檢漏。

如果檢漏儀發(fā)現(xiàn)有超過設(shè)定值的氦信號，則說明箱內(nèi)工件有小漏，系統(tǒng)發(fā)出有漏的報(bào)警，操作者按下確認(rèn)按鈕，真空箱內(nèi)充入大氣后自動打開，操作者可將快速接頭與工件分離后，將工件取出并做相應(yīng)標(biāo)識。

如果檢漏儀沒有發(fā)現(xiàn)有超過設(shè)定值的氦信號，則說明被檢測工件沒有漏，系統(tǒng)發(fā)出通過檢測的信號，并自動對工件進(jìn)行氦回收程序。

（4）氦氣回收：檢測完成后，工件內(nèi)的氦氣通過自動壓力平衡送回到低壓氦氣罐，當(dāng)工件內(nèi)的氦氣壓力下降到大氣壓時(shí)，系統(tǒng)用真空泵把工件內(nèi)的剩余氦氣回收，當(dāng)工件內(nèi)的壓力下降到設(shè)定值時(shí)，氦回收工序完成。在回收氦氣的同時(shí)，系統(tǒng)向真空箱充入大氣，當(dāng)真空箱的壓力上升到大氣壓力，而箱內(nèi)的工件氦氣回收工序已經(jīng)完成時(shí)，真空箱門自動打開，檢測程序完成。