TOF-qSIMS 飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀
- 公司名稱 英格海德分析技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) TOF-qSIMS
- 產(chǎn)地 英國(guó)
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2023/11/22 10:08:01
- 訪問(wèn)次數(shù) 10790
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在線質(zhì)譜儀，殘余氣體分析儀，重量法吸附儀，高壓吸附儀，蒸汽吸附儀，導(dǎo)熱系數(shù)分析儀，質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)飛行質(zhì)譜儀，電化學(xué)質(zhì)譜儀
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè) |
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Hiden TOF-qSIMS飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀設(shè)計(jì)用于多種材料的表面分析和深度剖析應(yīng)用，包括聚合物，藥物，超導(dǎo)體，半導(dǎo)體，合金，光學(xué)和功能涂層以及電介質(zhì)，檢測(cè)限低于1ppm。
TOF-qSIMS Workstation 包含了四極桿質(zhì)譜和飛行時(shí)間質(zhì)譜。
四極桿qSIMS主要用于摻雜物深度剖析和薄層分析，低入射能力，高入射電流，濺射和分析連續(xù)進(jìn)行，是典型的Dynamic SIMS 動(dòng)態(tài)SIMS。
飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜TOF-SIMS使用飛行時(shí)間質(zhì)譜，質(zhì)量數(shù)范圍寬，質(zhì)量分辨率高，且測(cè)量速度快（瞬間得到全譜）。離子槍僅需要一次脈沖濺射，即可得到全譜，對(duì)表面幾乎無(wú)破壞作用。因脈沖模式分析，且電流小，所以產(chǎn)生的二次離子比率相對(duì)少，靈敏度相比動(dòng)態(tài)SIMS弱，但成像和表面分析能力強(qiáng)，是典型的Stactic SIMS 靜態(tài)SIMS。
TOF-qSIMS飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀綜合了Quadrupole SIMS 和 TOF-SIMS的優(yōu)點(diǎn)，可以分析所有的導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣材料；對(duì)硅、高k、硅鍺以及III-V族化合物等復(fù)合材料的薄層提供超淺深度剖析、痕量元素和組分測(cè)量等一系列擴(kuò)展功能。對(duì)于材料/產(chǎn)品表面成分及分布，表面添加組分、雜質(zhì)組分、表面多層結(jié)構(gòu)/鍍膜成分、表面異物殘留（污染物、顆粒物、腐蝕物等）、表面痕量摻雜、表面改性、表面缺陷（劃痕、凸起）等有很好的表征能力。
一臺(tái)SIMS同時(shí)提供四極桿質(zhì)譜和飛行時(shí)間質(zhì)譜：
靜態(tài)SIMS Static SIMS
動(dòng)態(tài)SIMS Dynamic SIMS
Ar+, O2+, Cs+, Ga+ 等多種離子槍
樣品 3D成像分析
檢測(cè)限低于ppm
SNMS 離子源，二次中性粒子譜
二次離子質(zhì)譜成像軟件，靜態(tài)二次離子質(zhì)譜圖庫(kù)，二次離子質(zhì)譜后處理軟件
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