特種材料濺射靶材，F(xiàn)HR公司成立于1991年，專注于薄膜技術(shù)的研發(fā)和薄膜設(shè)備的設(shè)計(jì)制造，前身是東德的軍工企業(yè)，在真空鍍膜設(shè)備領(lǐng)域已經(jīng)有幾十年的經(jīng)驗(yàn)，現(xiàn)為Centrotherm international AG旗下薄膜真空設(shè)備生產(chǎn)公司。公司坐落于德國(guó)美麗的城市德累斯頓，與德國(guó)著名的研究機(jī)構(gòu)和大學(xué)有著密切的合作關(guān)系，使公司技術(shù)不斷創(chuàng)新。

擁有自主研發(fā)制造的*PVD、PECVD鍍膜設(shè)備，PE、RIE等離子刻蝕設(shè)備，F(xiàn)LA閃光燈退火設(shè)備，以及代表新一代半導(dǎo)體、微電子、納米薄膜沉積技術(shù)的ALD原子層沉積技術(shù)，技術(shù)的高密度等離子體ICP源、磁控濺射源，氣路控制系統(tǒng)，在線工藝檢測(cè)控制系統(tǒng)，高性能真空零部件等。

為客戶提供標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)、研發(fā)設(shè)備的同時(shí)，也可以為客戶量身定做設(shè)備。擁有豐富的設(shè)備制作及工藝經(jīng)驗(yàn)使FHR公司在市場(chǎng)上擁有很高的聲譽(yù)。

公司取得了巨大的成功，客戶涉及各個(gè)領(lǐng)域包括西門子、阿爾卡特宇航中心、三星、歐洲航空航天局、美國(guó)NASA、歐司朗、施華洛士奇、保時(shí)捷、慕尼黑大學(xué)、德國(guó)弗勞恩霍夫研究院、開姆尼茨大學(xué)等軍工、民用、研究、生產(chǎn)企業(yè)和部門。FHR公司客戶涉及各個(gè)領(lǐng)域包括西門子、阿爾 卡特宇航中心、歐洲航空航天局、美國(guó) NASA、歐司朗、施華洛士奇、保時(shí)捷、慕尼黑 大學(xué)、德國(guó)弗勞恩霍夫研究院、開姆尼茲大學(xué)等軍工、民用、研究、生產(chǎn)企業(yè)和部門。 中國(guó)客戶包括：中電科技集團(tuán) 14 所、18 所、55 所，航天科技 811 所、771 所，中科院 納米所、電子科大、重慶大學(xué)、上海交大等。

提供德國(guó)制造特種材料靶材，包括平面靶和旋轉(zhuǎn)靶，適用于半導(dǎo)體、微電子等行業(yè)的磁控濺射設(shè)備

 特種材料濺射靶材