Sentech激光橢偏儀與干涉膜厚儀-Se500adv

SE 500adv結(jié)合了橢偏儀和反射儀，除了測(cè)量透明膜層厚度的模糊性。它把可測(cè)量的厚度擴(kuò)展到25m，因此SE 500adv擴(kuò)展了標(biāo)準(zhǔn)激光橢偏儀SE 400adv的能力，特別適用于分析較厚的介質(zhì)膜、有機(jī)材料、光阻、硅和多晶硅薄膜。

橢偏測(cè)量和反射測(cè)量的結(jié)合允許通過(guò)自動(dòng)識(shí)別循環(huán)厚度周期來(lái)快速且明確地確定透明膜的厚度。

寬測(cè)量范圍

激光橢偏儀和反射儀的結(jié)合將透明薄膜的厚度范圍擴(kuò)展到25μm，更多地取決于光度計(jì)的選項(xiàng)。

擴(kuò)展激光橢偏儀的極限

性能優(yōu)異的多角度手動(dòng)角度計(jì)和角度精度*的激光橢偏儀允許測(cè)量單層薄膜和層疊膜的折射率、消光系數(shù)和膜厚。

測(cè)量太陽(yáng)能電池硅片上的增透膜的厚度和折射率，是生產(chǎn)高性能太陽(yáng)能電池的先決條件之一。橢偏儀測(cè)量因?yàn)槠淇焖俸头墙佑|光學(xué)測(cè)量方法，適合用來(lái)測(cè)量膜厚和折射率。但是，多晶硅的粗糙表面明顯降低測(cè)量效果，甚至根本不能測(cè)量。SENTECH公司開(kāi)發(fā)了高靈敏度和可靠度的632.8 nm單波長(zhǎng)橢偏儀，適合分析太陽(yáng)能電池上的增透膜。高穩(wěn)定性補(bǔ)償器被用來(lái)測(cè)量反射光的橢偏角并用來(lái)證實(shí)*測(cè)量的橢偏數(shù)據(jù)的有效性。樣品是不同的多晶硅上的氮化硅減反射膜。該領(lǐng)域的儀器已經(jīng)能夠測(cè)量其膜層的厚度和折射率。

SE 500adv可作為激光橢偏儀、膜厚探針和CER橢偏儀使用。因此，它提供了標(biāo)準(zhǔn)激光橢偏儀從未達(dá)到的大靈活性。作為橢偏儀，可以進(jìn)行單角度和多角度測(cè)量。當(dāng)用作膜厚探針時(shí)，在正常入射下測(cè)量透明或弱吸收膜的厚度。

SE 500adv中的橢偏測(cè)量和反射測(cè)量的組合包括橢圓測(cè)量光學(xué)部件、角度計(jì)、組合反射測(cè)量頭和自動(dòng)準(zhǔn)直透鏡、樣品臺(tái)、氦氖激光光源、激光檢測(cè)單元和光度計(jì)。

SE 500adv的選項(xiàng)支持在微電子、微系統(tǒng)技術(shù)、顯示技術(shù)、光伏、化學(xué)等領(lǐng)域的應(yīng)用。

SE 500adv可按三種模式操作,比通用橢偏儀具有更好的靈活性:

橢偏儀模式:用632.8 nm激光測(cè)量1到3層膜的光學(xué)系數(shù)和膜厚

膜厚儀模式:用白光反射干涉原理測(cè)量單層或多層的透明或弱吸收膜（膜的光學(xué)常數(shù)已知)

CER模式:自動(dòng)識(shí)別透明膜的測(cè)量周期,可確定透明膜的Cauchy相關(guān)系數(shù)

可選項(xiàng)：

Mapping自動(dòng)掃描：50×50~300 × 300 mm2

自動(dòng)準(zhǔn)直： 高度/俯仰自動(dòng)調(diào)節(jié)

自動(dòng)角度計(jì)： (20°) 40° - 90°

微細(xì)光斑：直徑30 um

視頻攝像頭：數(shù)字Camera

樣品液體池：液體可流動(dòng)、可加熱

橢偏分析軟件：SpectraRay / 4

標(biāo)準(zhǔn)片各種厚度