Mprobe 20 薄膜測量系統(tǒng) (單點測量)
- 公司名稱 上海昊量光電設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地 國外
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2021/8/14 8:36:28
- 訪問次數(shù) 1359
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激光器調(diào)制器,激光測量加工設(shè)備,光學(xué)部件,光譜儀,光纖器件,晶體,精密定位系統(tǒng)掃描系統(tǒng),探測器光子計數(shù)器,專用實驗設(shè)備,相機
產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,電子,航天 |
---|---|---|---|
靈敏度 | 0.1-0.5 pT/√HZ |
Mprobe 20 薄膜測量系統(tǒng) (單點測量)
MProbe 20是一款桌面式單點薄膜厚度測量系統(tǒng),只需點擊鼠標薄膜厚度和折射率測量,測量厚度范圍1nm-1mm,MProbe 20可對多層膜層進行測量。不同的MProbe 20配置主要由光譜儀的波長范圍和分辨率來區(qū)分,這又決定了可以測量的材料的厚度范圍和類型。該測量技術(shù)基于光譜反射率,具有快速、可靠、無損等特點。在世界范圍內(nèi)有成千上萬的應(yīng)用。
Mprobe 20 薄膜測量系統(tǒng) (單點測量)配置包括:
主單元(包括光譜儀、光源、光控制器、微處理器)
SH200A樣品臺,帶對焦鏡頭,可微調(diào)
光導(dǎo)纖維反射探頭
TFCompanion -RA軟件、USB適配器(授權(quán)密鑰)、USB記憶棒附帶軟件發(fā)行、用戶指南等資料
根據(jù)型號和黑色吸收體的不同,校準裝置(裸硅片和/或石英板和/或鋁鏡)
測試樣品200nm的氧化硅或PET薄膜,視型號而定
USB或LAN線(用于連接主機和PC)
24VDC電源適配器(110/220V)
核心指標:
精度:<0.01nm或0.01%(在200nm的氧化物上測量100次)
精度:<1nm或0.2%(依賴于filmstack)
穩(wěn)定性:< 0.02nm或0.2%(每天測量20天)
光斑大小:< 1毫米
樣本尺寸:>= 10mm
參見下面小冊子中MProbe 20薄膜厚度測量系統(tǒng)可用配置的詳細規(guī)格
選型列表:
MProbe 20 | 波長范圍 | 厚度范圍 |
VIS | 400nm -1100nm | 10nm – 75 μm |
UVVISSR | 200nm -1100nm | 1nm -75μm |
VISHR | 700nm-1700nm | 1μm-400μm |
NIR | 900nm-1700nm | 50nm – 85μm |
UVVisF | 200nm -800nm | 1nm – 5μm |
UVVISNIR | 200nm-1700nm | 1nm -75μm |
NIRHR | 200nm -1100nm | 10μm-1800μm (glass)4μm-400μm (Si) |