顯微光譜系統(tǒng)選用好的 Semrock 濾光片組，創(chuàng)造性地將激發(fā)光、熒光和濾光片集成在一個(gè)探頭之中。同時(shí)，配合聞奕光電的微區(qū)探頭耦合模塊，能將熒光光譜測(cè)量的空間分辨率提高至 5μm。系統(tǒng)，顧名思義即顯微鏡系統(tǒng)與光譜儀系統(tǒng)聯(lián)用，既有顯微鏡成像的功能，又有光譜分析的功能。該系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)微米級(jí)樣品的熒光光譜、反射光譜、透射光譜、拉曼光譜等光譜分析，普遍應(yīng)用于材料領(lǐng)域、生物技術(shù)、礦物分析、微納光學(xué)等領(lǐng)域。

系統(tǒng)圖

結(jié)構(gòu)組成

可分為三個(gè)模塊：照明模塊、光譜接收模塊以及成像模塊。

1.      照明模塊

系統(tǒng)的照明模塊一般分為科勒照明和共焦照明兩種。

a)科勒照明的光源一般為顯微鏡自帶的鹵素?zé)簦ㄟ^(guò)透鏡組將鹵素?zé)艚z成像于物鏡的后焦平面上，如此，物體可獲得較為明亮且均勻的全場(chǎng)照明；其原理圖可見(jiàn)Figure 1.

圖1

b)共焦照明是將照明光源（例如激光、氙燈等）通過(guò)光纖引入系統(tǒng)，光纖輸出端面經(jīng)過(guò)光學(xué)系統(tǒng)成像于物體面上，即入射端面與物體面共軛，實(shí)現(xiàn)定點(diǎn)照明或激發(fā)。

2.光譜接收模塊

該模塊由光纖以及微型光譜儀組成，其中光纖接收光路為共焦接收，即接收面和物體面為共軛面，實(shí)現(xiàn)定點(diǎn)光譜接收。接收光纖一端接入顯微鏡光路，另一端連接至微型光譜儀，從而獲取物體微觀區(qū)域內(nèi)的光譜信息。

3.成像模塊

該模塊為CCD相機(jī)，在顯微鏡的基礎(chǔ)上，將CCD/CMOS相機(jī)放置在物體面的共軛面上，在測(cè)量光譜的同時(shí)，可以實(shí)現(xiàn)物體圖像實(shí)時(shí)采集，即共軛成像。

圖2

顯微光譜系統(tǒng)系統(tǒng)特點(diǎn)

1)操作簡(jiǎn)便：系統(tǒng)是基于顯微鏡的光路進(jìn)行了改進(jìn)和優(yōu)化，增加光譜測(cè)量模塊。測(cè)量步驟可分為兩步，一為顯微鏡下查找物體，使物體在目鏡下呈清晰像，二為通過(guò)微型光譜儀采譜軟件對(duì)光譜進(jìn)行采集。

2)物體小，區(qū)域可選：利用共焦原理，接收光纖僅能接收到光纖端面成像在物體面的區(qū)域，實(shí)現(xiàn)微小區(qū)域的光譜采集。采集區(qū)域的空間分辨率一般可以通過(guò)接收光纖芯徑除以物鏡放大倍數(shù)獲得。通過(guò)特別定制的光纖，可在采集區(qū)域的周圍形成一個(gè)圓環(huán)，實(shí)現(xiàn)對(duì)微小物體的區(qū)域選擇及定位。

3)測(cè)量能力強(qiáng)：具備傳統(tǒng)顯微鏡所不具備的光譜測(cè)量功能，傳統(tǒng)顯微鏡只能提供圖像的獲取，從而對(duì)物體進(jìn)行形貌分析，無(wú)法獲得物體的光譜信息。測(cè)量系統(tǒng)，在保有物體圖像采集的功能外，還可對(duì)物體進(jìn)行不同區(qū)域光譜的采集與分析，更進(jìn)一步的了解物體的結(jié)構(gòu)與特性。

4)擴(kuò)展功能多：可基于商用顯微鏡，通過(guò)光路切換器的設(shè)計(jì)與耦合，增加包含顯微鏡下的透反射、熒光以及拉曼光譜測(cè)量，最大限度滿足各類的科研需求。

典型光譜測(cè)量

1)顯微反射光譜測(cè)量：通常使用顯微鏡自帶的鹵素?zé)糇鳛檎彰鞴庠矗ㄟ^(guò)顯微鏡中的上反射光路照射在物體上（科勒照明），經(jīng)由物體反射后進(jìn)入接收光纖，利用微型光譜儀對(duì)接收到的反射光進(jìn)行采譜及分析。

2)顯微透射光譜測(cè)量：通常使用顯微鏡自帶的鹵素?zé)糇鳛楣庠?，通過(guò)顯微鏡下面的透射光路照射到物體，光線透過(guò)物體后到達(dá)接收光纖，利用微型光譜儀對(duì)接收到的透射光進(jìn)行采譜及分析。

3)顯微熒光光譜測(cè)量：將外界激光光源通過(guò)光纖或熒光探頭，經(jīng)由光路切換器耦合進(jìn)入顯微鏡系統(tǒng)，并聚焦于物體面，實(shí)現(xiàn)對(duì)物體的熒光激發(fā)。然后，通過(guò)對(duì)被激發(fā)點(diǎn)所返回的光進(jìn)行過(guò)濾（濾去激發(fā)激光），使得進(jìn)入接收光纖的光只保留所需的熒光信息，利用微型光譜儀對(duì)接收到的熒光進(jìn)行采譜及分析。

4)顯微拉曼光譜測(cè)量：將外界激光光源（波長(zhǎng)為532nm 或 785nm）通過(guò)拉曼探頭，經(jīng)由光路切換器耦合進(jìn)入顯微鏡系統(tǒng)，并聚焦于物體面，實(shí)現(xiàn)對(duì)物體的拉曼激發(fā)。然后，通過(guò)對(duì)被激發(fā)點(diǎn)所返回的光進(jìn)行過(guò)濾（濾去激發(fā)激光），使得進(jìn)入接收光纖的光只保留所需的拉曼以及熒光信息，利用微型光譜儀對(duì)接收到的拉曼光及熒光進(jìn)行采譜及分析。