CC-200 PECVD設(shè)備

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公司名稱 青島泰斯邁儀器設(shè)備有限公司
品牌 其他品牌
型號 CC-200
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 代理商
更新時(shí)間 2021/8/23 9:30:09
訪問次數(shù) 203

產(chǎn)品標(biāo)簽

PECVD設(shè)備

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青島泰斯邁儀器設(shè)備有限公司是專業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備公司，有完善的服務(wù)和銷售體系。專業(yè)經(jīng)營各類進(jìn)口機(jī)械設(shè)備,儀器儀表及各種配件的一站式進(jìn)口產(chǎn)品綜合服務(wù)商.我司主要代理巴克拉克BACHARACH鹵素檢漏儀H25-IR PRO,冷媒回收機(jī),冷媒分析儀;愛發(fā)科ULVAC-氦質(zhì)譜檢漏儀;愛發(fā)科ULVAC-真空計(jì);愛發(fā)科ULVAC-真空泵;新機(jī)械NEW-MACHINE-快速接頭;神港精機(jī)SHINKO SEIKI-真空泵;東洋克斯TOYOX-膠管;康泰克CONTEC-板卡,工控機(jī);大進(jìn)DAISHIN-自動(dòng)焊接機(jī),點(diǎn)火器;德國SEW-電機(jī)減速機(jī);松村MORESCO-潤滑油;出光IDEMITSU-潤滑油;

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產(chǎn)地類別	進(jìn)口	應(yīng)用領(lǐng)域	能源

產(chǎn)品簡介：
Load-lock式Plasma CVD設(shè)備CC-200/400是小型的使用便利的可對應(yīng)從研究開發(fā)到量產(chǎn)的設(shè)備。

產(chǎn)品特性：
• 27.12MHz高密度等離子制程

• SiH4系：SiO2、SiNx、SiON、a-Si、TEOS系：可對應(yīng)SiO2膜

• 以CF4+O2 Plasma實(shí)現(xiàn)腔體清潔功能

• 可對應(yīng)有機(jī)EL（OLED）的低溫成膜用heater

• 使用Tray可搬送多種基板尺寸

• 通過使用真空Box實(shí)現(xiàn)C系列的間接連續(xù)制程（Sputter: CS-200, Evaporation: CV-200）

產(chǎn)品應(yīng)用：
• 功率器件

• LED、LD、高速device等化合物相關(guān)

• 有機(jī)EL（OLED）開發(fā)

• 太陽電池開發(fā)

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