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          單工位大口徑快速退火爐

          具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

          聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


                安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與技術(shù)服務(wù)于一體的高科技企業(yè)。

                公司重視技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā),建有超卓的產(chǎn)品研發(fā)中心,擁有一支由多名博士碩士組成的專業(yè)研發(fā)隊伍,累計獲得patent200余項。并通過產(chǎn)學(xué)研合作,與北京大學(xué)南開大學(xué)等多所院校建立聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室及研究生聯(lián)合培養(yǎng)基地
                公司專注于新材料裝備工藝開發(fā)及裝備制造,產(chǎn)品門類涵蓋了OLED材料提純專用設(shè)備系列、碳材料制備設(shè)備系列、半導(dǎo)體專用設(shè)備系列及金屬納米顆粒設(shè)備系列四大類共十余個子類,與眾多材料廠商、科研院校等保持長期合作關(guān)系,市場營銷網(wǎng)絡(luò)遍布全球各地。
                連年來,公司相繼被認(rèn)定為“高新技術(shù)企業(yè)”“專精特新企業(yè)““科技小巨人培育企業(yè)”“石墨烯生長設(shè)備工程技術(shù)研究中心”“瞪羚企業(yè)”“雛鷹企業(yè)”,并接連獲得“中國隱形獨(dú)角獸500強(qiáng)”“科技創(chuàng)新獎”“創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)獎”等多項榮譽(yù)。

           

           

           

           

           

           

           

           

          高溫管式爐,箱式爐,CVD系統(tǒng),PECVD系統(tǒng), 等離子清洗機(jī),陶瓷材料燒結(jié)設(shè)備

          產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 面議
          儀器種類 管式爐 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,食品,化工

          設(shè)備單工位大口徑快速退火爐特點(diǎn):

          該款設(shè)備是由單端封口小型紅外滑軌爐、 電機(jī)調(diào)速裝置、高真空機(jī)組、進(jìn)出氣口及操作控制界面組成,內(nèi)控?zé)犭娕加糜诳刂芌TP滑軌爐內(nèi)的溫度,伺服電機(jī)用于控制絲桿的轉(zhuǎn)動速度達(dá)到精確控制爐管(樣品)移除爐膛的速度,從而用于調(diào)節(jié)爐管(樣品)的降溫速度,與之相反可以得到較快的升溫速率;出氣口通過連接手動擋板閥、波紋管用于對石英艙體內(nèi)的真空獲取,進(jìn)氣口除用于通入保護(hù)氣體或反應(yīng)氣體外,還可以用于移出爐膛后通入氣體帶走熱量的快速降溫,以此獲得較高的降溫速率。

           

          單工位大口徑快速退火爐結(jié)構(gòu)與原理:

          設(shè)備組成:單端封口小型紅外滑軌爐、 電機(jī)調(diào)速裝置、高真空機(jī)組、流量控制系統(tǒng)及工控電腦操作系統(tǒng)。

          1、單端封口小型紅外滑軌爐:

          該加熱系統(tǒng)采用*制造工藝,造型新穎結(jié)構(gòu)合理,爐體爐管可實(shí)現(xiàn)自動分離,爐體上下兩半設(shè)計,氣動彈簧支撐結(jié)構(gòu)讓操作者可各角度自由打開,安全可靠。爐膽采用高密度純氧化鋁聚輕纖維材料真空吸附成型,表面涂覆高反射率的超高溫保護(hù)涂層,除能夠保持其能量的低損耗,還能增強(qiáng)高溫穩(wěn)定性,可有效減少熱能損耗。

          該滑軌爐加熱系統(tǒng)由紅外燈管加熱,采用內(nèi)插熱電偶控溫的方式實(shí)時顯示石英腔體內(nèi)部溫度,加熱區(qū)長度為370mm,恒溫區(qū)長度200mm,確保兩個φ100*100mm的夾具可放置在恒溫區(qū)內(nèi),為讓樣品在爐管內(nèi)的中心位置,考慮石英置物架的高度,石英管管徑綜合考慮在210mm,恒溫區(qū)200mm內(nèi)的溫場均勻性控制在±5℃,升溫速率≤30℃/s, 整個石英腔體直接劃出爐膛,樣品降溫過程可在通入一定量保護(hù)氣體的條件下快速降溫,平均降溫速率可達(dá)到2℃/s, 試樣反應(yīng)區(qū)處在一個密閉的石英腔體內(nèi),在完成工藝的同時大大降低了間接污染試樣的可能性。采用石英管堵維持爐內(nèi)的溫場均勻性及石英艙體內(nèi)的潔凈度。

           

          2、電機(jī)調(diào)速裝置

          伺服電機(jī)調(diào)速裝置用于控制絲桿的轉(zhuǎn)動速度,達(dá)到控制爐管部分的整體移動速度(含樣件),以此調(diào)整快速升降溫的目標(biāo)速率,電機(jī)旋轉(zhuǎn)速度實(shí)時顯示并且精確可控,以獲得精確的移動速度,滿足降溫時工藝參數(shù)要求。

           

          3、主要參數(shù)

          加熱系統(tǒng)

          供電電源

          220V,50Hz

          額定功率

          10KW

          石英管尺寸

          Φ210*370mm(爐管直徑可根據(jù)實(shí)際需要定制。)

          爐膛材料

          氧化鋁、高溫纖維制品

          加熱原件

          電阻絲

          控溫精度

          ±5℃

          熱電偶類型

          K型熱電偶(內(nèi)插)

          控制方式

          該系統(tǒng)人機(jī)界面+PLC控制,10寸液晶屏顯,顯示器可直接顯示真空度、氣體流量、熱電偶溫度、電機(jī)旋轉(zhuǎn)速度等信息。

          氣路系統(tǒng)

          標(biāo)準(zhǔn)量程(N2)

          1000sccm(可根據(jù)用戶要求定制)

          準(zhǔn)確度

          ±1.5%

          線性

          ±0.5~1.5%

          重復(fù)精度

          ±0.2%

          響應(yīng)時間

          氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

          工作壓差范圍

          0.1~0.5 MPa

          最大壓力

          3MPa

          接口

          Φ6,1/4''

          工作環(huán)境溫度

          5~45高純氣體 

          真空系統(tǒng)

          機(jī)械泵

          抽氣速率:4L/S

          容油量:1.1L

          電機(jī)功率:400W~

          極限壓強(qiáng):6×10-2Pa

          分子泵

          抽氣速率:100L/S

          極限壓強(qiáng):1×10-4Pa

          啟動時間:<2min

          額定轉(zhuǎn)速:4300轉(zhuǎn)/分

          冷卻方式:環(huán)境溫度5-32℃時,風(fēng)冷;5-40℃時看,水冷。

          分子泵控制器

          電壓:220V±22V

          啟動電流:≤7A

          輸入頻率:47HZ—63HZ

          最大輸出功率:≤150W

          最大加速電壓:≤40V

          加速時間:≤3min

          頻率(雙速):高速705HZ±10HZ

                   低速430HZ±5HZ

          復(fù)合真空計

          測量路數(shù):2路(電阻規(guī)、電離規(guī)各1路)

          工作模式:手動/自動

          電阻單元參數(shù)

          規(guī)管型號:ZJ-52T電阻規(guī)

          測量范圍:1.0×105Pa~1.0×10-1Pa

          有效范圍:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

          控制范圍:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

          電離單元參數(shù)

          規(guī)管型號:ZJ-27電離規(guī)

          可測范圍:5.0Pa~1.0×10-5Pa

          有效范圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa

          控制范圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa

          規(guī)管除氣方式:焦耳去氣

          其他參數(shù)

          控制路數(shù):4路

          控制方式:點(diǎn)動或區(qū)域控制/帶掉電記憶

          控制精度:±1%

          采樣時間:1S

          電源:220V±10% 50HZ

          功耗:50W

          使用環(huán)境溫度:0℃~45℃

          濕度:≤85%

          連接管路

          采用全不銹鋼,電拋光制作,零件焊接漏率優(yōu)于1.0×10-9Pa.m3/s


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