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FPSEM-STE3526 混合異質(zhì)結(jié)構(gòu)分子束外延系統(tǒng)
- 公司名稱 孚光精儀(中國(guó))有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) FPSEM-STE3526
- 產(chǎn)地 孚光精儀歐洲
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/8/5 14:24:10
- 訪問(wèn)次數(shù) 491
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生長(zhǎng)室溫度 | 1200 |
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這款混合異質(zhì)結(jié)構(gòu)分子束外延系統(tǒng)具有雙反應(yīng)器,非常適合А3В5和А2В6異質(zhì)結(jié)構(gòu)生長(zhǎng)應(yīng)用,也可用于epi晶圓研發(fā)和試生產(chǎn)。
混合異質(zhì)結(jié)構(gòu)分子束外延系統(tǒng)是提供從А3В5-反應(yīng)器到А2В6-反應(yīng)器的超純超高壓基板傳輸,避免生長(zhǎng)界面的不受控制的污染。
還可以配備V族和VI族元素的閥裂解單元以及所有必要的原位分析工具。
混合異質(zhì)結(jié)構(gòu)分子束外延系統(tǒng)優(yōu)勢(shì):
•“實(shí)驗(yàn)室到工廠”的概念,允許開(kāi)展從基礎(chǔ)研究到異質(zhì)結(jié)構(gòu)試生產(chǎn)的活動(dòng)
•鋁(冷唇)專用滲出細(xì)胞,操作穩(wěn)定,鎵(熱唇)提供低橢圓形缺陷密度
•在系統(tǒng)基本配置中對(duì)生長(zhǎng)過(guò)程進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)測(cè)的所有必要工具
•特別設(shè)計(jì)的生長(zhǎng)操縱器,提供高溫均勻性和加熱/冷卻速率動(dòng)態(tài)
•安裝期間的有效技術(shù)支持,包括基本工藝轉(zhuǎn)移
•簡(jiǎn)單的系統(tǒng)操作和定期的技術(shù)維護(hù)
混合異質(zhì)結(jié)構(gòu)分子束外延系統(tǒng)參數(shù):
烘烤后生長(zhǎng)室的最終真空度,Torr | <5×10-11 |
最大基板直徑,mm | 100或3×2″block |
100mm晶圓的厚度和復(fù)合不均勻度,% | ±1 |
“源到基片”距離,mm | 135÷210 |
滲出細(xì)胞百葉窗設(shè)計(jì) | 基于磁耦合旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的無(wú)沖擊驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu) |
百葉窗葉片材料 | 鉭、鉬或PBN(可選) |
生長(zhǎng)機(jī)械手加熱元件的設(shè)計(jì) | PBN/PG/PBN |
生長(zhǎng)操縱器的最高工藝溫度,不低于,℃ | 900 (NH3-MBE為1200) |
準(zhǔn)備室中基板脫氣溫度,不低于,℃ | 650 (III氮化物為1100) |
生長(zhǎng)室烘烤溫度,不低于,℃ | 200 |
離子泵容量,不小于,l/s: –生長(zhǎng)室(III-N的TMP) –準(zhǔn)備室 –負(fù)載鎖定 | 800 (2000) 500 300 |
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