FlexSEM 1000日立高新掃描電子顯微鏡可對材料的表面進行高倍率觀察及高精度元素分析，在納米技術、生命科學、產品設計研發(fā)及失效分析等領域有著廣泛的應用。 近年來，掃描電鏡觀察表面精細結構及元素分析的需求日趨增加，而越來越多的用戶希望能在生產線、品保檢驗線和辦公區(qū)等有限的空間里使用掃描電子顯微鏡。因此，體積小、操作簡便、分辨率高的掃描電子顯微鏡備受關注。FlexSEM 1000主機寬450mm、長640mm，相比SU1510型號體積減小52%，重量減輕45%，功耗減小50%，且配備標準化的電源接口。主機與供電單元可分離，安裝非常靈活。

FlexSEM 1000日立高新掃描電子顯微鏡采用新設計的電子光學系統(tǒng)和高可靠性、高靈敏度的探測器，分辨率高達4nm。FlexSEM 1000有多種自動化功能，操作簡便，即便是初次操作者也能快速拍出高質量圖像。另外，新開發(fā)的導航功能「SEM MAP」可使用各種光學圖片或電鏡照片進行導航，一鍵就快速精準地切換至感興趣的高倍率視野。

FlexSEM 1000日立高新掃描電子顯微鏡特點：

a. 通過高靈敏度二次電子探測器，背散射探測器，低真空探測器（UVD^*2），實現(xiàn)低加速電壓/低真空下高質量圖像觀察

b. 操作簡捷，即使新手也能拍出高質量的圖片

c. 新開發(fā)的導航功能「SEM MAP」，便于快速鎖定視野

d. 大窗口（30 mm²）SDD能譜系統(tǒng)，便于快速分析元素成分^*2

*1 設置在桌面時，分離主機和電源箱

*2  選配