臭氧發(fā)生器系統(tǒng)設計時，必須能防止大量水進入到發(fā)生器內。

水封供氣壓縮機用的浮閥或空氣干燥器上的凝結水閥阻塞卡住，都會造成發(fā)生器電暈室內灌水。電暈室內大量進水可導致電暈集中、高電流密度和局部電介體發(fā)熱，造成介電體過早失效。即使檢測裝置在水進入電暈室之前切斷電暈電源，水中所含雜質也會沉積在元件表面上，這些雜質必須在繼續(xù)運行之前予以清除。運行故障或操作錯誤都能迫使處理出水從臭氧接觸池到流至發(fā)生器內，至少會造成電暈元件污染或者介電體損壞。此外，系統(tǒng)設計和操作規(guī)程必須阻止易燃的腐蝕性氣體及從臭氧接觸池回流的水蒸氣進入發(fā)生器內。

⑷冷卻水的水質要好，防止結垢，以免影響發(fā)生器的散熱效果。

二對水冷發(fā)生器采說，為使傳熱表面的結垢最少，冷卻水的水質十分重要。結垢會使傳熱效率降低，從而減少臭氧產量，增加維護費用。在技術上自來水是被優(yōu)先選擇的冷卻劑，不過，對大型工業(yè)用發(fā)生器所需要的耗水量來說，使用自來水經濟上毫無吸引力，也許只有發(fā)生系統(tǒng)用在水處理廠的情況除外。與自來水水質相反，一般處理后的污水作為冷卻水，效果不是很好，因為它容易導致結垢。如果高質量的水或其他流體用在密封的十次冷卻回路中，末級熱交換器又是專門設計得最少結垢；且便于清洗，而且污水出水還可以作為末級散熱使用。為了水費和設備維護費之間的佳平衡，系統(tǒng)設計時多數采用冷卻塔水或熱交換器優(yōu)質飲用水（無懸浮固體、氯化物<5mg/L）。