HMPS-2060P 微波等離子體 CVD設(shè)備
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2022/4/26 17:11:27
- 訪問次數(shù) 186
產(chǎn)品標(biāo)簽
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 儀器種類 | 真空爐 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,地礦,電子 |
HMPS-2060P 微波等離子體 CVD設(shè)備
◆微波反應(yīng)腔新型設(shè)計，功率密度大。
◆產(chǎn)品沉積速率快、沉積質(zhì)量高。
◆開關(guān)型微波電源，微波輸出穩(wěn)定性高。
◆適合光學(xué)、電子、工具級金剛石膜或單晶、石墨烯等的沉積，材質(zhì)表面處理、低溫氧化物的生長等。
◆性能*，安全、可靠性強(qiáng)、重現(xiàn)性好，操作簡便。
◆多參數(shù)實時監(jiān)測、采集與記錄，PLC屏幕控制，多重聯(lián)鎖保護(hù)。
HMPS-2060P 微波等離子體 CVD設(shè)備
（1）型號HMPS-2060S
（2）電源AC380±10% V 三相五線制 50Hz，額定輸入＜10KVA
（3）微波輸出功率0.5~6kW 連續(xù)可調(diào)
（4）功率穩(wěn)定度優(yōu)于2%
（5）紋波≤1%
（6）微波頻率 2450MHz±50MHz
（7）測溫方式 紅外300~1400℃
（8）極限真空度6×10-6torr
（9）腔體內(nèi)工作壓力 7torr~250torr
（10）樣品臺 Φ60mm
（11）樣品臺軸向調(diào)節(jié)范圍 0-60mm
（12）工作氣氛五路（可用戶定制）
（13）微波泄漏值 ＜5mW/cm2
（14）工作環(huán)境 溫度15-40℃，相對濕度≤60%，無腐蝕性氣體
（15）冷卻水＞22L/Min
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