半導(dǎo)體設(shè)備隔振臺架（電控空氣彈簧型）

產(chǎn)品描述：

優(yōu)良的不銹鋼工作臺面和高剛度支撐鋼架桌腿之間裝有ADS主動控制膜片式空氣彈簧，可抵消受到微小振動的影響。簡化的設(shè)計使其可以成為工作站環(huán)境的一部分，無需后續(xù)調(diào)整。

ADS-ICD 結(jié)構(gòu)

基于膜片的空氣彈簧，外殼、支撐板和底板由鋁制成。

ICD空氣彈簧系統(tǒng)構(gòu)成

· 4 個空氣彈簧

-3個帶傳感器和控制閥的ADS主控空氣彈簧

-1 個無傳感器和閥門的ADS被控空氣彈簧

· 1 個控制單元，3 通道電路板帶有 USB 接口

· 主控彈簧的通信電纜

· 壓力調(diào)節(jié)閥（NW 4 模塊）

· 電源適配器

選 項

· 控制單元：塑料外殼中的電路板

· 控制電纜的連接器

· 過濾器 - 調(diào)節(jié)器組件由壓力調(diào)節(jié)器、壓力表、過濾器、水分離器組成

· 控制電纜：3 根控制電纜的長度符合客戶需求

· Air Level Control 軟件

· USB 線纜

· 根據(jù)空氣彈簧的數(shù)量，增加軟管和連接器

系統(tǒng)功能

空氣彈簧具有出廠默認(rèn)配置。同時，通過控制軟件可以改變以下參數(shù)：復(fù)位精度、允許的變形量、響應(yīng)時間、平均高度。這些參數(shù)可以被查看，調(diào)整，并存儲在每個彈簧中。即使在斷電后，這些值也會保留?？梢酝ㄟ^控制軟件恢復(fù)默認(rèn)配置。

控制單元

調(diào)節(jié)參數(shù)

· 復(fù)位精度：

-粗略 (± 0.5 mm）

-精準(zhǔn) (± 0.1 mm)

-用戶定義 (± 0.01 - 1 mm)

· 允許偏差（變形量）

-寬 (± 1.0 mm)

-窄 (± 0.5 mm)

-用戶定義 (± 0.01 - 1.5 mm)

· 響應(yīng)時間

-快 (10 ms)

-慢 (125 ms)

-用戶定義 (5 - 125 ms)

· 工作高度

-中間位置 (± 5 mm),

-電位計調(diào)整

-控制軟件調(diào)整

ADS主動控制膜片式空氣彈簧選型參數(shù)：

單位：mm

注：根據(jù)用戶需求可定制，有一系列定制選項可供選擇。

應(yīng)用范圍：

高精度工具對振動敏感，需要振動隔離才能獲得好的性能。