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M-LINE STAGE XYθ(Theta)對位平臺直線電機多軸平臺
- 公司名稱 蘇州捷士佳自動化設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 M-LINE STAGE
- 產(chǎn)地 蘇州
- 廠商性質(zhì) 工程商
- 更新時間 2023/4/11 16:02:21
- 訪問次數(shù) 1321
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XYθ(Theta)對位平臺直線電機多軸平臺基于與伺服控制技術(shù)相互兩全的高性能控制平臺。
可對應(yīng)定位精度、速度穩(wěn)定性、長行程、客制品等各種要求。
也可構(gòu)建X、XY、Xθ(Theta)、XYθ(Theta)軸平臺。
行程100-21300mm.
XYθ(Theta)對位平臺直線電機多軸平臺結(jié)構(gòu)緊湊、低組裝,大中空孔,高動態(tài)性和優(yōu)異的幾何性能。
平臺從需要高動態(tài)性和微米級直線度的雙面晶圓加工,到由DX B、ARC無鐵芯電機驅(qū)動的準靜態(tài)光學(xué)量測,需要高精度和精確的幾何性能。
應(yīng)用場景
對位平臺
XYθ對位平臺
UVW對位平臺
對位系統(tǒng)
網(wǎng)印視覺對位
COG視覺對位
切割對位系統(tǒng)
曝光對位系統(tǒng)
貼合機對位系統(tǒng)
裝配視覺對位
該平臺屬于LMH三軸平臺系列,具有高分辨率,高重復(fù)定位精度,廣泛應(yīng)用于光學(xué)測量儀器,晶圓對準,LCD面板檢測,半導(dǎo)體處理,激光切割和鉆孔,復(fù)合機等.