| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 熱場(chǎng)發(fā)射 |
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工 |
Helios 5 Hydra DualBeam
具有多個(gè)離子種類、適用于 3D EM 和 TEM 樣品制備的等離子聚焦離子束掃描電子顯微鏡檢查
Helios 5 Hydra DualBeam主要特點(diǎn)
應(yīng)用空間廣泛
離子源可提供以下四種快速、可切換離子種類，應(yīng)用空間最為廣泛：Xe、Ar、O、N
高通量和高質(zhì)量
使用下一代 2.5 μA 等離子 FIB 色譜柱進(jìn)行高通量、高質(zhì)量和統(tǒng)計(jì)學(xué)相關(guān)的 3D 表征、交叉切片和微加工。
先進(jìn)的自動(dòng)化
使用選配的 AutoTEM 5 軟件，以最快速輕松的方式實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化多點(diǎn)原位和非原位 TEM 樣品制備以及交叉切片
高質(zhì)量樣品制備
由于采用新型 PFIB 色譜柱，可實(shí)現(xiàn) 500 V 最終拋光以及在所有操作條件下均可提供出色的性能，可以用氙、氬或氧進(jìn)行高質(zhì)量無鎵 TEM 和 APT 樣品制備。
納米級(jí)實(shí)現(xiàn)周期短
借助 SmartAlign 和 FLASH 技術(shù)，任何經(jīng)驗(yàn)水平的用戶都可以最短時(shí)間獲得納米級(jí)信息
完整的樣品信息
可通過多達(dá)六個(gè)集成在色譜柱內(nèi)和透鏡下的集成探頭獲得清晰、精確且無電荷對(duì)比度的最完整的樣品信息
電子和離子束誘導(dǎo)沉積和蝕刻
通過選配的 Thermo Scientific MultiChem 或 GIS 氣輸送系統(tǒng)，在 DualBeam 系統(tǒng)上實(shí)現(xiàn)的電子和離子束誘導(dǎo)沉積和蝕刻功能。
精確的樣品導(dǎo)航
借助 150 mm 壓電載物臺(tái)的高穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性或 110 mm 載物臺(tái)的靈活性以及選配的腔室內(nèi) Thermo Scientific Nav-Cam 攝像機(jī)，可根據(jù)具體應(yīng)用需求進(jìn)行定制。
無偽影成像
基于集成的樣品清潔度管理和專用成像模式，例如 SmartScan 和 DCFI 模式
性能數(shù)據(jù)
| Helios 5 Hydra CX DualBeam | Helios 5 Hydra UX DualBeam | |
| 電子束分辨率 |
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| 電子束參數(shù)空間 |
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| 離子光學(xué)系統(tǒng) | 高性能 PFIB 色譜柱，具有的電感耦合等離子 (ICP) 源，支持四種離子種類，并具有快速切換能力
重合點(diǎn)時(shí)的氙離子束分辨率
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| 腔室 |
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| 探頭 |
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| 載物臺(tái)和樣品 | 靈活的五軸電動(dòng)載物臺(tái)：
| 高精度五軸電動(dòng)載物臺(tái)，配有壓電驅(qū)動(dòng)的 XYR 軸
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