XUV/EUV 寬帶軟X射線高分辨率光譜儀 2-100nm
- 公司名稱 筱曉(上海)光子技術有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2023/7/3 14:14:45
- 訪問次數(shù) 639
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產地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
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應用領域 | 化工,建材,電子 | 組成要素 | 半導體激光器產品及設備 |
具有高分辨率和效率的多功能光譜儀
隨著在半導體制造中使用 13.5 nm輻射的 EUV 光刻技術的發(fā)展,極紫外輻射(EUV、XUV)已成為一個重要的工業(yè)意義。這導致對高分辨率和靈敏的診斷和測量技術的需求。因此,我們構建了一個模塊化的 XUV / EUV 和軟 X 射線光譜儀,可用于等離子體光譜學、源診斷和計量學。它te別適用于激光等離子體源(LPS)和高次諧波源(高次諧波產生high harmonic generation,HHG)。
該光譜儀設計靈活,適用于多種應用。對于廣泛的幾何形狀,可以獲得非常高的光譜分辨率。通常,分辨率僅受檢測器系統(tǒng)像素大小的限制(XUV CCD 為 13.5 µm)。光譜儀的所有部件都是 UHV 級的。
寬帶高光譜分辨率
普通光譜儀針對一個波長的特定分辨率進行了優(yōu)化。相比之下,我們的專業(yè)設計可在寬帶寬下實現(xiàn)高分辨率。例如,我們的 XUV 光譜儀在 12-41 nm 的整個帶寬內達到<0.08 2="" 100="" nm="">10000 的超高分辨率。
操作方式及可用性
我們靈活的光譜儀提供多種操作模式,可以在操作過程中改變。
通過使用行程范圍為幾厘米的多軸電動工作臺,用戶可以輕松地對設備進行校準。此外,可以在光束路徑中在線放置不同的光學器件來測量不同的光束特性。該光譜儀具有以下工作模式:(1)XUV光束檢測,(2)角分辨光譜,(3)高效、光譜分辨率高的成像光譜。
下圖為角分辨光譜(a、b)和成像光譜(c、d)的測量結果。
我們提供
優(yōu)質產品
為您的應用程序全定制
2-100 nm 的光譜范圍
高達 λ/Δλ > 10000 的高分辨率
多功能設置:電動載物臺和自適應法蘭
不透光的設置:可以集成遮光罩
超高真空 (UHV, < 10-9 mbar) 條件
在線操作模式&對準&光束檢測
狹縫和無狹縫設置
出色的信噪比 (SNR) 和Max. 的光收集效率
筱曉(上海)光子技術有限公司是一家被上海市評為高新技術企業(yè)的專業(yè)光學服務公司,業(yè)務涵蓋設備代理以及項目合作研發(fā),公司位于大虹橋商務板塊,擁有接近2000m2的辦公區(qū)域,建有500平*的AOL(Advanced Optical Labs)光學實驗室,為國內外客戶提供專業(yè)技術支持服務。公司主要經營光學元件、激光光學測試設備、以及光學系統(tǒng)集成業(yè)務。依托專業(yè)、強大的技術支持,以及良好的商務支持團隊,筱曉的業(yè)務范圍正在逐年增長。目前業(yè)務覆蓋國內外各著名高校、頂級科研機構及相關領域等諸多企事業(yè)單位。筱曉擁有一支核心的管理團隊以及專業(yè)的研發(fā)實驗室,奠定了我們在設備的拓展應用及自主研發(fā)領域堅實的基礎。
主要經營
激光器/光源
半導體激光器(DFB激光器、SLD激光器、量子級聯(lián)激光器、FP激光器、VCSEL激光器)
氣體激光器(HENE激光器、氬離子激光器、氦鎘激光器)
光纖激光器(連續(xù)激光器、超短脈沖激光器)
光學元件
光纖光柵濾波器、光纖放大器、光學晶體、光纖隔離器/環(huán)形器、脈沖驅動板、光纖耦合器、氣體吸收池、光纖準直器、光接收組件、激光控制驅動器等各種無源器件
激光分析設備
高精度光譜分析儀、自相關儀、偏振分析儀,激光波長計、紅外相機、光束質量分析儀、紅外觀察鏡等
光纖處理設備
光纖拉錐機、裸光纖研磨機 。