臺式等離子清洗機是一款專門針對科研院所研制的小批量樣品表面處理設(shè)備，利用真空環(huán)境產(chǎn)生等離子體去處理樣品的表面，達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。具有設(shè)備小巧，真空腔容量大，適用于實驗室環(huán)境；清洗過程不會產(chǎn)生高溫，避免產(chǎn)品產(chǎn)生熱變形；可以處理各種各樣的材質(zhì)，如金屬、半導(dǎo)體、氧化物或高分子材料，應(yīng)用廣泛。

臺式等離子清洗機特點：

u  采用射頻電源、自動匹配器，一鍵式操控

u  低溫等離子體，能量低、密度高，適合處理特殊材料

u  無環(huán)境污染、無化學品消耗

u  可處理形狀復(fù)雜的材料，材料表面處理的均勻性好

u  適用性廣，各種材料、形狀都可以處理

設(shè)備的優(yōu)點：

1、采用射頻電源、自動匹配器，一鍵式操控。

2、低溫等離子體，能量低、密度高，適合處理特殊材料。

3、無環(huán)境污染、無化學品消耗。

4、可處理形狀復(fù)雜的材料，材料表面處理的均勻性好。

5、適用性廣，各種材料、形狀都可以處理。

腔體材質(zhì)  鋁合金
電源功率  0-300W可調(diào)

射頻頻率  13.56MHz

真空度  ≤100Pa

氣體路數(shù)  2路

氣體流量  MFC氣體質(zhì)量流量計   500SCCM（可調(diào)）

控制  觸屏

清洗時間  1-6000s連續(xù)可調(diào)

處理尺寸：≤4寸

內(nèi)腔尺寸  Φ147mm*145mm（直徑*深）

外形尺寸  500mm*525mm*365mm（寬*深*高）

重量  ≈38KG

真空泵  愛特VRD-4