激光光刻系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱 北京瑞科中儀科技有限公司
品牌 其他品牌
型號
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
更新時間 2024/7/10 12:55:24
訪問次數(shù) 560

產(chǎn)品標(biāo)簽

等離子多腔系統(tǒng)電子束光刻系統(tǒng)國產(chǎn)電子束光刻電子束光刻束光刻

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公司介紹 主營產(chǎn)品

北京瑞科中儀科技有限公司專注半導(dǎo)體材料研究分析設(shè)備的研發(fā)和應(yīng)用。專業(yè)的團(tuán)隊(duì)，專精的服務(wù)，提供理想的解決方案。

我們長期專注于半導(dǎo)體材料研究與分析設(shè)備的經(jīng)銷和代理，為高校、企業(yè)科研工作者提供專業(yè)的分析解決方案。以專業(yè)技能為導(dǎo)向，用科技來解決用戶在科研中遇到的難題。專業(yè)的技術(shù)工程師和科研工作者進(jìn)行現(xiàn)場演示和技術(shù)交流，打消顧慮，彼此協(xié)作，為我國的科研領(lǐng)域譜寫新篇章。

北京瑞科中儀科技有限公司長期代理銷售供應(yīng)多種分子材料的研究分析設(shè)備，其中包括但不限于掃描電子顯微鏡、感應(yīng)耦合等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)、離子束刻蝕機(jī)、等離子清洗機(jī)、物理氣相沉積系統(tǒng)以及各品牌的光學(xué)顯微鏡以及實(shí)驗(yàn)室設(shè)備儀器。

客戶至上的服務(wù)理念，以人為本的企業(yè)文化，我們始終為用戶提供專業(yè)的服務(wù)！

合作丨共贏，選擇我們，選擇未來！

展開

半導(dǎo)體材料分析,材料刻蝕

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應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,電子

具有分辨率的直接激光刻錄機(jī)

PICOMASTER 是一系列直接激光刻錄機(jī)，可使用單個激光束創(chuàng)建高分辨率結(jié)構(gòu)。這款多功能、低維護(hù)的激光刻錄機(jī)可為特征和光柵周期提供分辨率。用戶友好的 PICOMASTER 系列為您的激光光刻挑戰(zhàn)提供了解決方案。

具有以下功能：

單聚焦光束寫入策略
分辨率低至 0.3 μm
4096級灰度光刻

即使在具有挑戰(zhàn)性的基材上也能進(jìn)行專有自動對焦
最大 8” x 8” 暴露區(qū)域
無縫合曝光

PICOMASTER 直接激光刻錄機(jī)為您的微加工需求提供解決方案。

提供 405 和 375 激光源，保證 300 nm 的分辨率，因此 PICOMASTER 直接激光刻錄機(jī)可產(chǎn)生市場上最高分辨率。這些無掩模直接激光刻錄機(jī)增強(qiáng)了科學(xué)和工業(yè)目的的創(chuàng)新實(shí)力，為光子器件、微電子、MEMS、3D 光刻、光學(xué)可變器件 (OVD)、衍射光學(xué)元件等領(lǐng)域的研發(fā)帶來了機(jī)會。

PICOMASTER 是適合您實(shí)驗(yàn)室的工具：

P RECISION：即使對于精細(xì)劑量也能提供高精度激光功率控制，即使在具有挑戰(zhàn)性的樣品上也能自動對焦，并且具有對準(zhǔn)精度

解決方案：為特征和光柵提供的分辨率，特征周期低至 300 nm 以下

優(yōu)化：可以通過桌面或獨(dú)立系統(tǒng)選擇、適當(dāng)?shù)募す庠床ㄩL和寫入模式選擇來針對任何類型的應(yīng)用進(jìn)行優(yōu)化

輪廓分析：提供高達(dá) 4096 級的灰度功能，而不影響曝光速度，實(shí)現(xiàn)2.5D 抗蝕劑輪廓分析

易于使用：內(nèi)部設(shè)計的對齊工具和強(qiáng)大的用戶界面支持輕松的樣品處理，方便處理最常見的文件格式

降低維護(hù)成本：通過免維護(hù)運(yùn)動平臺和長壽命光學(xué)模塊（10,000 小時）實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)、快速且經(jīng)濟(jì)高效的維護(hù)，該模塊易于更換，無需上門服務(wù)

特征

解決

< 300 納米

灰度級別

4096

激光源

405 / 37

根據(jù)您的需求優(yōu)化直接激光刻錄機(jī)

PICOMASTER 直接激光刻錄機(jī)在可配置的平臺上工作，該平臺可以根據(jù)您的應(yīng)用或特定實(shí)驗(yàn)室條件進(jìn)行優(yōu)化，以滿足您的需求。PICOMASTER 可以是桌面或獨(dú)立系統(tǒng)，可以針對不同類型的抗蝕劑具有不同的激光波長，并且可以為各種應(yīng)用提供不同的光斑尺寸。如果需要，它可以與環(huán)境穩(wěn)定裝置結(jié)合使用。