超高真空電子束蒸鍍設備
- 公司名稱 北京瑞科中儀科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/7/10 13:30:03
- 訪問次數(shù) 579
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應用領域 | 環(huán)保,化工,電子 |
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超高真空電子束蒸鍍設備介紹
超高真空環(huán)境的特徵為其真空壓力低於10-8至10-12 Torr,在化學物理和工程領域十分常見。超高真空環(huán)境對於科學研究非常重要,因為實驗通常要求,在整個實驗過程中,表面應保持無污染狀態(tài)和使用較低能量的電子和離子的實驗技術的使用,而不會受到氣相散射的過度干擾。在這樣超高真空環(huán)境下使用電子束蒸鍍,SYSKEY可以提供高品質的薄膜。
針對超高真空和高溫加熱設計基板旋轉鍍膜機構,使用陶瓷培林旋轉,並在內部做水冷循環(huán)來保護機構以確保長時間運轉的穩(wěn)定性。
超高真空電子束蒸鍍設備應用領域 | 腔體 |
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配置和優(yōu)點 | 選件 |
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