半自動(dòng)酸洗清洗系統(tǒng)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 深圳正陽(yáng)工業(yè)清洗設(shè)備有限公司
- 品牌 正陽(yáng)
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2023/10/28 14:38:47
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濕法清洗技術(shù),又可以分為化學(xué)方法和物理方法兩個(gè)方向。
化學(xué)方法主要通過(guò)將硅片浸入不同的化學(xué)藥劑從而達(dá)到清洗的目的,根據(jù)藥劑的不同又有RCA清洗、改進(jìn)RCA清洗、臭氧清洗、IMEC清洗等多條分支。
RCA清洗法是用于晶圓清洗的一種清洗工藝方法,也是目前工業(yè)界廣泛采用的清洗工藝方法。
清洗的一般思路是首先去除硅片表面的有機(jī)沾污,因?yàn)橛袡C(jī)物會(huì)遮蓋部分硅片表面,從而使氧化膜和與之相關(guān)的沾污難以去除;然后溶解氧化膜,因?yàn)檠趸瘜邮恰罢次巯葳濉?,也?huì)引入外延缺陷;最后再去除顆粒、金屬等沾污,同時(shí)使硅片表面鈍化。