SEMI-KLEEN 美國PIE等離子清洗儀
參考價 | ¥100000-¥300000/件 |
- 公司名稱 南京覃思科技有限公司
- 品牌其他品牌
- 型號SEMI-KLEEN
- 所在地國外
- 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
- 更新時間2024/9/14 14:32:23
- 訪問次數(shù) 98
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臺式電子顯微鏡;電鏡;噴金儀;噴碳儀;離子濺射鍍膜儀;真空鍍膜儀;等離子刻蝕灰化儀;透射電鏡CCD相機(jī);電子束曝光系統(tǒng);接觸角測量儀;光學(xué)顯微鏡;生物顯微鏡;工業(yè)顯微鏡;金相顯微鏡;三坐標(biāo)測量儀;色度亮度計;冷光儀;生物化學(xué)發(fā)光儀;能譜儀;電鏡耗材;銅網(wǎng);微柵;碳導(dǎo)電膠帶;金靶;CCD攝像頭;顯微圖像分析軟件;顯微鏡數(shù)字化改裝
美國PIE等離子清洗儀
美國PIE Scientific LLC公司出品的SEMI-KLEEN 等離子清洗儀, 采用低壓清洗技術(shù),可清洗各種類型電子或者離子顯微鏡,深紫外光刻機(jī),電子光刻系統(tǒng)等真空儀器。
本儀器由一個LCD觸摸屏控制器和一個遠(yuǎn)程射頻(RF)等離子源組成,遠(yuǎn)程等離子源通過一個KF40真空法蘭連接到待清洗真空室,有轉(zhuǎn)接法蘭提供。主要用于清洗各種掃描電鏡(SEM),透射電鏡(TEM),聚焦離子系統(tǒng)(FIB),離子顯微鏡(HIM)等真空系統(tǒng)中碳?xì)浼捌渌廴尽M瑫r清洗真空腔體和樣品。(PIE中國代理南京覃思科技有限公司)
一. 美國PIE等離子清洗儀te有功能
1. *的等離子技術(shù),可以在小于0.1毫托的氣壓下點(diǎn)火并且保持穩(wěn)定的等離子體。非常低工作氣壓比其他同類產(chǎn)品低10到100倍。低氣壓清洗速度非常快,非常均勻,對電子槍和分子泵非常安全;
2. 即時等離子起輝技術(shù)。不用像在其他同類產(chǎn)品上那樣擔(dān)心等離子是不是成功起輝;
3. 帶氣壓計的自動氣體流量控制;
4. 實時測量等離子強(qiáng)度,用戶可以根據(jù)這個實時反饋來優(yōu)化清洗配方;
5. 自動射頻匹配實時保證非常優(yōu)化射頻耦合,即使用戶調(diào)節(jié)清洗配方;
6. 專有保護(hù)的雙層顆粒過濾器設(shè)計保證我們的產(chǎn)品滿足Intel,臺積電,三星等半導(dǎo)體用戶的嚴(yán)格顆粒污染要求;
7. 帶LCD觸摸屏的直觀操作界面;
8. 微電腦控制器帶可修改的智能清洗計劃,設(shè)好就自動清洗您的系統(tǒng);
9. 支持清洗配方,一鍵開始,自動射頻匹配,自動控制氣體流量;
10. 微電腦控制器可記錄所有信息狀態(tài),便于系統(tǒng)維護(hù)。
二. 技術(shù)指標(biāo)
1. 等離子源真空接口:NW/KF40 法蘭; 提供轉(zhuǎn)接法蘭;
2. 標(biāo)配等離子強(qiáng)度傳感器;
3. 等離子源非常低點(diǎn)火起輝氣壓:<0.1毫托;
4. 等離子源非常高工作氣壓:>1.0 托;
5. 漏氣率:<0.005sccm;
6. 射頻輸出:0~100瓦,連續(xù)可調(diào)節(jié);
7. 具有射頻自動匹配功能
8. 電源和功率:110V/220V, 50/60 Hz, 200 瓦