ULVAC 愛發(fā)科 DIS-90 渦旋式干真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對

被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講

，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和

維持真空的裝置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型

，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工

、食品、電子鍍膜等行業(yè)。

由于真空應(yīng)用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此

任何一種類型的真空泵都不可能適用于所有的工作

壓力范圍，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作

要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真

空工藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要求組

合起來，以機(jī)組型式應(yīng)用。

常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑

閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵等，這些泵是我國國民

經(jīng)濟(jì)各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過程中的主力泵種。

近年來， 伴隨著我國經(jīng)濟(jì)持續(xù)高速發(fā)展，真空泵相關(guān)

下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長勢頭，同時在真空泵應(yīng)用領(lǐng)

域不斷拓展等因素的共同拉動下，我國真空泵行業(yè)實(shí)現(xiàn)

了持續(xù)穩(wěn)定地快速的發(fā)展。

（1）泵總體結(jié)構(gòu)型式

真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。

立式結(jié)構(gòu)的進(jìn)、排氣口水平設(shè)置，裝配和連接管路都比

較方便。但泵的重心較高，在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性差，故

這種型式多用于小泵。

臥式泵的進(jìn)氣口在上，排氣口在下。有時為了真空系統(tǒng)

管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進(jìn)

、排氣方向是相互垂直的。此時，排氣口可以從左或右

兩個方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接

旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)重心低，高速運(yùn)轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性好。一

般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。

泵的兩個轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙

容易控制，轉(zhuǎn)子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較

高且齒輪拆裝不便，潤滑機(jī)構(gòu)也相對復(fù)雜。

（2）泵的傳動方式

真空泵的兩個轉(zhuǎn)子是通過一對高精度齒輪來實(shí)現(xiàn)其相對

同步運(yùn)轉(zhuǎn)的。主動軸通過聯(lián)軸器與電機(jī)聯(lián)接。在傳動結(jié)

構(gòu)布置上主要有以下兩種：其一是電動機(jī)與齒輪放在轉(zhuǎn)

子的同一側(cè)如圖。

從動轉(zhuǎn)子由電動機(jī)端齒輪直接傳過去帶動，這樣主動轉(zhuǎn)

子軸的扭轉(zhuǎn)變形小，則兩個轉(zhuǎn)子之間的間隙不會因主動

軸的扭轉(zhuǎn)變形大而改變，故使轉(zhuǎn)子之間的間隙在運(yùn)轉(zhuǎn)過

程中均勻。

ULVAC 愛發(fā)科 DIS-90 渦旋式干真空泵這種傳動方式的最大缺點(diǎn)是：a.主動軸上有三個軸承，

增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調(diào)整也不便

；b.整體結(jié)構(gòu)不勻稱，泵的重心偏向電動機(jī)和齒輪箱一

側(cè)。

(1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速；

(2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)

。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損

失小，可大大降低驅(qū)動功率，從而可實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速；

(3)泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空

系統(tǒng)的污染；

(4)泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，對被

抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；

(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；

(6)轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查

比較困難。

⑴真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響

。若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振

動措施。

⑵了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆

粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體

成分，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸

氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路

上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。

⑶真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程

中產(chǎn)生的全部氣體量。

⑷正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而

，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合

起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。

如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型

濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬

有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較

好的真空度。

另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；

有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級泵，故都需

要把泵組合起來使用。

⑸真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時，

應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射

離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵

，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等

，也能達(dá)到清潔真空要求。

⑹正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作

壓強(qiáng)范圍，如：2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強(qiáng)范圍

760mmHg~25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的

抽速隨壓強(qiáng)而變化（詳細(xì)變化情況參照泵的性能曲線）

，其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為760~60mmHg。因而，泵的工

作點(diǎn)應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi)較為適宜，而不能讓它在

25~30mmHg下長期工作。

⑺真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境

不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到

室外。

⑻真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工

作壓強(qiáng)要求。如：某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真

空度，選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg，最好

能達(dá)到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設(shè)

備工作真空度半個到一個數(shù)量級。

⑼真空泵的價格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。