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UNECS-3000A ULVAC愛(ài)發(fā)科 精品 手動(dòng) 高速光譜 橢偏儀
參考價(jià) | ¥ 3265 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱(chēng) 深圳市京都玉崎電子有限公司
- 品牌 ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科
- 型號(hào) UNECS-3000A
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2024/11/23 11:45:39
- 訪問(wèn)次數(shù) 287
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主要經(jīng)營(yíng)光學(xué)設(shè)備、電子計(jì)測(cè)儀器、科學(xué)儀器、機(jī)械加工設(shè)備、環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備、PC周邊用品、作業(yè)工具用品、電源、化學(xué)用品、FA
產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,石油,能源,電子,電氣 |
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訂貨號(hào) | 137**1702**3088王生 |
ULVAC愛(ài)發(fā)科 精品 手動(dòng) 高速光譜 橢偏儀
ULVAC愛(ài)發(fā)科 精品 手動(dòng) 高速光譜 橢偏儀
可以進(jìn)行映射測(cè)量的自動(dòng)臺(tái)型
UNECS系列是一種分光橢偏儀,可以高速、高精度地測(cè)量薄膜的厚度和折射率。采用測(cè)量方法,實(shí)現(xiàn)高速測(cè)量和緊湊化。我們提供廣泛的產(chǎn)品陣容,以適應(yīng)不同的應(yīng)用,包括便攜式類(lèi)型、自動(dòng)平臺(tái)類(lèi)型和與真空環(huán)境兼容的內(nèi)置類(lèi)型。
UNECS-1500A/2000A/3000A采用自動(dòng)R-θ平臺(tái)和自動(dòng)對(duì)焦功能,可快速自動(dòng)測(cè)量基材表面內(nèi)的膜厚分布,并將結(jié)果顯示在彩色圖上。
用途
透明或半透明薄膜(氧化膜、氮化膜、抗蝕劑、ITO等)的膜厚、折射率、消光系數(shù)的測(cè)量
特征
高速測(cè)量:
采用快照方式,實(shí)現(xiàn)了最高速度20ms的高速測(cè)量。
兼容可見(jiàn)光譜:
波長(zhǎng)范圍可選擇標(biāo)準(zhǔn)型(530nm~750nm)和可見(jiàn)光譜型(380nm~760nm)。
緊湊的傳感器單元:
光發(fā)射/接收傳感器僅由光學(xué)元件組成,沒(méi)有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),并且非常輕便和緊湊,并且不需要定期維護(hù)。
豐富的產(chǎn)品陣容:
我們擁有可適應(yīng)各種應(yīng)用的產(chǎn)品陣容,包括便攜式類(lèi)型、手動(dòng)/自動(dòng)平臺(tái)類(lèi)型、大型基板類(lèi)型以及與大氣/真空環(huán)境兼容的內(nèi)置類(lèi)型。
規(guī)格
模型 | 1500A | 2000A | 3000A | |
波長(zhǎng)范圍 | 530~750nm、380~760nm(任選其一) | |||
光斑直徑 | φ1mm、φ0.3mm(任選其一) | |||
入射角度 | 70o固定 | |||
膜厚再現(xiàn)性 | 1σ = 0.1nm | |||
膜厚范圍 | 1nm?2μm | |||
測(cè)量時(shí)間 | 受光:20ms ? 3000ms 演算:300ms | |||
階段 | φ150mm自動(dòng) | φ200mm自動(dòng) | φ300mm自動(dòng) | |
自動(dòng)測(cè)量 | 200點(diǎn) | 200點(diǎn) | 2,000點(diǎn) | |
控制電腦 | 筆記本型(帶操作/分析軟件) | |||
機(jī)器構(gòu)成 | 測(cè)量單元、控制器、操作電腦(筆記本型)、使用說(shuō)明書(shū)(CD) |
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